长江存储、华力、华虹三大晶圆厂招标数据曝光

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据中证券测算，选取范围内的三座典型晶圆厂设备国产化率总体在17%左右，随供应链本土化趋势的发展，未来国产化率有望实现阶跃式提升。在行业景气持续、国产替代深入背景下，半导体设备公司持续有业绩支撑。建议优先选择赛道空间大、产品布局全面、技术实力较强的龙头设备厂商，以及份额尚低、受益国产替代有望快速成长的细分赛道成长型企业。

长江存储、华力集成、华虹无锡三座晶圆厂招投标国产设备份额统计明细（2016~2022 年）

据测算，2021年中国大陆厂商营收体量在全球市场占比仅约2.5%。从我们选取的长江存储、华力集成、华虹无锡三座典型晶圆厂招投标数据来看，美国设备厂商份额在4~5成，日本厂商份额3成左右，国产份额2成左右，国产设备份额呈现明显上升趋势。

（1）去胶国产化率约74%（据我们测算，下同），屹唐股份、盛美上海等位于国内前列；

（2）清洗设备国产化率约38%，盛美上海设备中标数量仅次于日本迪恩士，至纯科技、北方华创、芯源微等亦为国产替代主力，各家产品类型有所区别；

（3）氧化扩散/热处理设备国产化率约28%，北方华创、屹唐股份、盛美上海中标设备数量靠前；

（4）刻蚀设备国产化率约22%，中微公司、北方华创、屹唐股份分列国内前三；

（5）化学机械抛光国产化率约23%，华海清科为国内细分龙头；

（6）薄膜沉积国产化率约5.7%，拓荆科技、北方华创、盛美上海中标设备数量靠前；

（7）过程控制国产化率约3.6%，中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器国内领先；

（8）离子注入国产化率约3.1%，烁科中科是为数不多获得采购的国产厂商，凯世通半导体亦为国产化主力；

（9）光刻机国产化率约1.1%，基本由荷兰厂商阿斯麦垄断，国内上海微电子实现零突破；

（10）涂胶显影国产化率约1%，日本东京电子领先，国内芯源微实现零突破。总体而言，国内设备厂商在设备品类、工艺覆盖率方面仍存在较大提升空间，美国制裁中国厂商事件已经激发国内厂商的供应链安全意识，国内晶圆厂有望加快供应链本土化，我们预计国产设备厂商接下来1~2年有望受益国产设备份额的阶跃式提升。

目录

中国大陆晶圆厂进展行业扩产持续，2022H1 已披露完成设备招标 478 台 .................. 6

设备厂商中标更新各厂商中标结果陆续释出，国产替代有望加快...............................10

设备国别比较美日设备占比最高，国产占比呈显著上升趋势...................................... 11

设备类型比较薄膜沉积、过程控制、离子注入、涂胶显影等尚有较大替代空间.........17

1、刻蚀国产化率 22%，中微公司、北方华创、屹唐股份三强崛起............................18

2、薄膜沉积国产化率 5.7%，拓荆科技、北方华创、盛美上海为国产前三强.............22

3、过程控制国产化率 3.6%，中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器国内领先.........25

4、氧化扩散/热处理设备国产化率 28%，北方华创优势较为明显...............................27

5、清洗国产化率 38%，盛美上海中标设备数量国产最多，仅次于日本迪恩士..........30

6、去胶国产化率 74%，屹唐股份、盛美上海国产入围 ..............................................34

7、化学机械抛光国产化率 23%，华海清科为国内细分龙头.......................................37

8、离子注入国产化率 3.1%，烁科中科国产获采购.................................................40

9、涂胶显影国产化率 1%，芯源微实现国产零突破....................................................42

10、光刻国产化率 1.1%，阿斯麦绝对垄断，上海微实现国产零突破.........................43

风险因素 .........................................................................................................................44

总结测算三座晶圆厂设备国产化率总体在 17%左右，坚定看好设备国产替代趋势 ....44

插图目录

图 1全球半导体设备市场规模........................................................................................ 7

图 2中国半导体设备市场规模及在全球市场占比........................................................... 7

图 3中国大陆半导体生产线分布图（2020 年 4 月） ..................................................... 8

图 4长江存储近五年部分设备招标项目累计数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

........................................................................................................................................13

图 5长江存储近五年历年部分设备招标项目数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

........................................................................................................................................13

图 6华力集成近六年部分设备招标项目累计数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

........................................................................................................................................13

图 7华力集成近六年历年部分设备招标项目数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

........................................................................................................................................13

图 8华虹无锡近四年部分设备招标项目累计数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

........................................................................................................................................14

图 9华虹无锡近四年历年部分设备招标项目数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

........................................................................................................................................14

图 10长江存储 2017~2022 年设备招标各厂商中标项目数量排名 ...............................15

图 11华力集成 2016~2022 年设备招标各厂商中标项目数量排名................................16

图 12华虹无锡 2018~2022 年设备招标各厂商中标项目数量排名 ...............................16

图 13晶圆厂半导体制造流程及相关半导体设备示意图................................................17

图 142021 年半导体设备各细分类型市场销售额占比..................................................17

图 15长江存储 2017~2022 设备招标刻蚀设备各厂商中标数量合计............................18

图 16华力集成 2016~2022 设备招标刻蚀设备各厂商中标数量合计............................20

图 17华虹无锡 2018~2022 设备招标刻蚀设备各厂商中标数量合计............................21

图 18长江存储 2017~2022 设备招标薄膜沉积设备各厂商中标数量合计 ....................22

图 19华力集成 2016~2022 设备招标薄膜沉积设备各厂商中标数量合计 ....................23

图 20华虹无锡 2018~2022 设备招标薄膜沉积设备各厂商中标数量合计 ....................24

图 21长江存储 2017~2022 设备招标过程控制设备各厂商中标数量合计 ....................25

图 22华力集成 2016~2022 设备招标过程控制设备各厂商中标数量合计 ....................26

图 23华虹无锡 2018~2022 设备招标过程控制设备各厂商中标数量合计 ....................26

图 24长江存储 2017~2022 设备招标氧化扩散/热处理设备各厂商中标数量合计 ........27

图 25华力集成 2016~2022 设备招标氧化扩散/热处理设备各厂商中标数量合计 ........29

图 26华虹无锡 2018~2022 设备招标氧化扩散/热处理设备各厂商中标数量合计 ........29

图 27长江存储 2017~2022 设备招标清洗设备各厂商中标数量合计............................31

图 28华力集成 2016~2022 设备招标清洗设备各厂商中标数量合计............................32

图 29华虹无锡 2018~2022 设备招标清洗设备各厂商中标数量合计............................33

图 30长江存储 2017~2022 设备招标去胶设备各厂商中标数量合计............................34

图 31华力集成 2016~2022 设备招标去胶设备各厂商中标数量合计............................36

图 32华虹无锡 2018~2022 设备招标去胶设备各厂商中标数量合计............................36

图 33长江存储 2017~2022 设备招标化学机械抛光设备各厂商中标数量合计 .............37

图 34华力集成 2016~2022 设备招标化学机械抛光设备各厂商中标数量合计 .............39

图 35华虹无锡 2018~2022 设备招标化学机械抛光设备各厂商中标数量合计 .............39

图 36长江存储 2017~2022 设备招标离子注入设备各厂商中标数量合计 ....................40

图 37华力集成 2016~2022 设备招标离子注入设备各厂商中标数量合计 ....................41

图 38华虹无锡 2018~2022 设备招标离子注入设备各厂商中标数量合计 ....................41

图 39长江存储 2017~2022 设备招标涂胶显影设备各厂商中标数量合计 ....................42

图 40华力集成 2016~2022 设备招标涂胶显影设备各厂商中标数量合计 ....................42

图 41华虹无锡 2018~2022 设备招标涂胶显影设备各厂商中标数量合计 ....................43

图 42长江存储 2017~2022 设备招标光刻设备各厂商中标数量合计............................43

图 43华力集成 2016~2022 招标光刻设备各厂商中标数量合计...................................44

图 44华虹无锡 2018~2022 招标光刻设备各厂商中标数量合计...................................44

图 45三座晶圆厂招投标设备合计国产化率排序（2016~2022） .................................45

图 46三座晶圆厂招投标设备各自国产化率对比（2016~2022） .................................45

表格目录

表 12022 年 1~6 月部分国内晶圆厂工艺设备完成招标情况概览................................... 8

表 2国内部分半导体设备厂商情况...............................................................................10

表 3部分国内半导体工艺设备中标情况概览 ................................................................ 11

表 4全球半导体设备厂商排名......................................................................................12

表 5长江存储 2017~2022 设备招标国产刻蚀设备明细................................................18

表 6华力集成 2016~2022 设备招标国产刻蚀设备明细................................................20

表 7华虹无锡 2018~2022 设备招标国产刻蚀设备明细................................................21

表 8长江存储 2017~2022 设备招标国产薄膜沉积设备明细.........................................22

表 9华力集成 2016~2022 设备招标国产薄膜沉积设备明细.........................................23

表 10华虹无锡 2018~2022 设备招标国产薄膜沉积设备明细 ......................................24

表 11长江存储 2017~2022 设备招标国产过程控制设备明细.......................................25

表 12华力集成 2016~2022 设备招标国产过程控制设备明细 ......................................26

表 13华虹无锡 2018~2022 设备招标国产过程控制设备明细 ......................................26

表 14长江存储 2017~2022 设备招标国产氧化扩散/热处理设备明细...........................27

表 15华力集成 2016~2022 设备招标国产氧化扩散/热处理设备明细...........................29

表 16华虹无锡 2018~2022 设备招标国产氧化扩散/热处理设备明细...........................30

表 17长江存储 2017~2022 设备招标国产清洗设备明细..............................................31

表 18华力集成 2016~2022 设备招标国产清洗设备明细..............................................32

表 19华虹无锡 2018~2022 设备招标国产清洗设备明细..............................................33

表 20长江存储 2017~2022 设备招标国产去胶设备明细..............................................35

表 21华力集成 2016~2022 设备招标国产去胶设备明细..............................................36

表 22华虹无锡 2018~2022 设备招标国产去胶设备明细..............................................37

表 23长江存储 2017~2022 设备招标国产化学机械抛光设备明细 ...............................38

表 24华力集成 2016~2022 设备招标国产化学机械抛光设备明细 ...............................39

表 25华虹无锡 2018~2022 设备招标国产化学机械抛光设备明细 ...............................39

表 26华力集成 2016~2022 设备招标国产离子注入设备明细 ......................................41

表 27华虹无锡 2018~2022 设备招标国产离子注入设备明细 ......................................41

表 28华力集成 2016~2022 设备招标国产涂胶显影设备明细 ......................................42

表 29长江存储 2017~2022 设备招标国产去胶设备明细..............................................43

表 30长江存储、华力集成、华虹无锡三座晶圆厂招投标国产设备份额统计明细

（2016~2022 年）..........................................................................................................4

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