富创精密研究报告设备零部件领先企业，充分受益国产替代

（报告出品方国联证券）

1. 全球半导体设备零部件供应商

1.1 设备零部件持续高速发展

公司是国内半导体设备精密零部件领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用 于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。公司的主要产品包括工艺零部 件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类，应用于半导体设备、泛半导体设备及 其他领域。

经历了 14 余年半导体设备零部件的研发和积累，公司成为了海外龙头客户的战 略供应商，并且随着国内半导设备厂商的崛起，在内需的拉动下公司步入高速发展阶 段。

公司成立于 2008 年，在 2014 年之前，公司处于工艺积累和技术攻关阶 段，逐步实现了国产化自主可控，向北方微电子、上海微电子、拓荆科技等 10 余 家企业交付了 1000 余种精密零部件。

2014 至 2018 年，公司处于快速发展阶段，部分技术达到主流国际客户 标准，期间公司成为客户 A 的战略供应商，东京电子、VAT 等国际知名企业的供 应商，并为北方华创、中科装备、拓荆科技等国内知名半导体设备企业提供精 密零部件的研发及量产配套服务。

2018 年至今，公司陆续进入了 HITACHI High-Tech、ASMI 等多个全球 半导体设备龙头厂商供应链体系，并且随着国内半导体设备企业的崛起，公司积 极开拓国内市场，实现了对国内主流半导体设备厂商的量产配套，内销规模不断提升。

1.2 股权结构稳定，员工规模迅速扩张

第一大股东沈阳先进，实际控制人郑广文为公司董事长、总经理。公司第一大股 东沈阳先进制造技术产业有限公司持有 22.55%股份，其余持股超过 5%以上股东分别 为宁波祥浦（21.56%）、上海国投（18.22%）、辽宁中德（6.38%）、郑广文（6.38%）、 辽宁科发（6.38%）。公司实际控制人郑广文可控制公司合计 34.03%的股份表决权，比 第二大股东多出 10%以上，目前郑广文在公司担任董事长、总经理，对公司生产经营、 重大决策具有实际的控制力。此外，2018 年公司成立三家员工持股平台宁波芯富、 宁波芯芯、宁波良芯，合计持有 5.09%股份，目前公司已完成该股权激励。 公司拥有沈阳融创、北京富创、南通富创、富创研究院、沈阳强航 5 家境内参股 公司，美国富创、日本富创 2 家境外全资子公司和上海广川、芯链融创 2 家境内参股 公司。其中北京富创、南通富创主要负责半导体设备精密零部件的研发、生产和销售， 目前两地工厂均在建设中。

公司管理层及核心技术人员均有持股。除了董事长、总经理郑广文直接持股 6.38%，其余高管及核心技术人员均为间接持股，间接持股份额约为 0.61%。

员工规模快速提升。由于行业景气度持续高涨，公司订单及营收规模高速增长， 同时南通、北京等异地产能加速建设，2021 年末公司员工人数同比 2020 年末增长 475 人，其中生产人员增加 308 人，研发人员增加 104 人，管理和销售人员也有所增加。从 2021 年员工构成来看，公司生产人员、大学（含大专）、40 岁以下员工占比分别 为 67%、65%、85%。

1.3 外销占比下降业绩快速增长

营收快速增长，利润逐渐释放。在行业景气度回升及半导体设备国产化趋势下， 公司的工艺技术、行业口碑、产品质量和交付能力不断得到境内外客户认可，业务收 入快速增长，从 2018 年的 2.25 亿元增长至 2021 年的 8.43 亿元，2022H1 实现营收 5.98 亿元，同比增长 73.16%。同时，在产品竞争优势及规模效应下，公司利润逐渐 提升，归母净利润从 2018 年的 0.07 亿元提升至 2021 年 1.26 亿元，2022H1 实现归 母净利润 1.01 亿元，同比增长 130%。

利润率趋于稳定，费用率稳中有降。2018-2022H1，公司毛利率分别为 33.24%、 17.18%、31.58%、32.04%、33.57%；净利率分别为 3.05%、-13.16%、19.43%、14.40%、16.36%。从费用端来看，期间费用率稳中有降，管理费用率、研发费用率均维持在 8% 左右，销售费用率、财务费用率均维持在 2%以下。

结构零部件占比较大，整体毛利率较为稳定。公司的业务营收分为四大部分，包 括结构零部件、工艺零部件、模组产品和气体管路，2021 年各业务收入分别占比 42%、 21%、19%、16%。此外结构零部件、工艺零部件、气体管路毛利率均维持在 33%左右； 模组产品毛利率逐渐提升，2021 年毛利率为 22.19%。

目前公司以外销为主，但内销增长较快。公司主营业务收入主要来源于大陆以外 地区，产品主要销往国际半导体设备厂商在北美和亚洲的组装工厂，符合全球半导体 设备产业格局。随着国内半导体设备厂商的崛起，公司大陆地区销售收入规模及主营 业务收入占比逐年提升。从毛利率来看，内销毛利率远低于外销毛利率但差距逐渐减 小，2019-2021 年外销毛利率分别为 21.71%、34.38%、34.44%，内销毛利率分别 为-14.49%、19.16%、25.64%。

2. 半导体设备零部件市场国产替代大有可为

公司是主要从事半导体设备精密零部件研发和制造的企业，主要产品应用于半导 体设备，相应主营业务收入占比均在 65%以上，且不断提升。公司未来发展方向也以 应用于半导体设备领域为核心，因此行业部分仅涉及半导体设备应用领域。

2.1.机械类零部件占比最大

半导体零部件支撑着半导体设备行业，继而支撑半导体芯片制造和整个现代电 子息产业。半导体设备精密零部件具有高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿 电压等特性，生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺、电子电机 整合及工程设计等多个领域和学科，是半导体设备核心技术的直接保障。

半导体零部件厂商的客户主要有晶圆制造厂和设备制造商两类，富创精密主要客 户为设备制造商。从产业链来看，零部件上游主要是铝合金材料及其他金属非金属原 材料，下游是各类半导体设备制造商，终端客户是三星、Intel 等 IDM 客户和台积电、 SMIC 等晶圆制造厂。

零部件原材料种类较多，机械类成本占比较大。精密零部件一般包括工艺零部件、 结构零部件、气体管路、模组产品、仪器仪表类产品、电气类产品、光学类产品等。 根据盛美上海、拓荆科技、屹唐股份、华海清科的原材料清单，半导体设备厂商的原 材料主要包括以下几类机械类、电气类、机电一体类、气体输送系统类、真空系统 类、传感器类、气动系统类、仪器仪表类、光学类及其他。其中机械类占设备成本比 较大，在盛美上海、拓荆科技、屹唐股份、华海清科成本中占比分别为 21.35%（2021H1）、 28.20%（2021 年前三季度）、39.36%（2021H1）、67.68%（2021）。

2.2.机械类零部件率先受益国产替代

半导体设备市场规模持续超千亿美元。随着 5G 建设的渗透，AIOT、人工智能等 新应用场景逐渐广泛，对于芯片的需求日益提升，全球半导体市场规模逐步扩张，晶 圆厂加大资本开支投入，半导体设备市场规模快速提升。根据 WSTS，全球半导体市场 销售额从 2008 年的 2492 亿美元增至 2021 年的 5541 亿美元，预计 2022 年将增长 16%，2023 年继续增长 5.3%。同时根据 SEMI 数据，全球半导体设备市场规模近两年 继续超过千亿美元，2020 年全球半导体设备市场规模合计为 710.6 亿美元，2021 年 达到 1025 亿美元，预计 2022 年、2023 年分别为 1175 亿美元、1201 亿美元。

全球半导体设备零部件市场规模超过 500 亿美元。设备成本构成中一般 90%以上 为原材料，考虑国际半导体设备公司毛利率一般在 40%-50%左右，从而全部精密零部 件市场约为全球半导体设备市场规模的 50%-55%。据此我们推算 2021 年全球半导体 设备零部件市场规模约为 513 亿美元，预计 2022 年、2023 年将分别达到 588 亿美 元、601 亿美元，2030 年将达到 700 亿美元。

从竞争格局来看，设备零部件主要由国外厂商供应，国内厂商在机械类、气体/ 液体/真空系统类零部件产品国产化率较高。具体来看，富创精密、靖江先锋、托伦 斯、菲利华、神工股份等国内厂商供应中低端机械类零部件，主要产品技术已实现突 破和国产替代，国产化率相对较高；国内尚无可提供应用于电气类半导体设备的零部 件厂商；华卓精科、新松机器人、京仪自动化、富创精密可提供机电一体类零部件给 国内半导体设备厂商，但是整体国产化率不高；气体/液体/真空系统类零部件国内已有部分厂商可以供应，国产化率处于中等水平；仪器仪表类、光学类零部件技术难度 较大，国产化率极低。

2.3.精密零部件市场海外差距较大

富创精密主营产品为半导体设备精密零部件，主要包括工艺和结构零部件、模组 产品以及气柜和气体管路等产品，产品大多属于机加件和组装件产品。 根据 SEMI 的 2020 年全球半导体各细分设备占比以及富创精密产品在不同设备 类零部件中占比数据，估算出 2021 年公司主营产品市场规模约为 230 亿美元，我们预计 2022 年、2023 年市场规模将达到 263 亿美元、269 亿美元。其中，薄膜沉积设 备、刻蚀设备、涂胶显影设备的零部件市场规模较大，2021 年分别为 85、79、10 亿 美元。

从公司产品市场竞争格局来看，富创精密产品在各细分市场国内均处于领先地 位，其中机械类零部件可直接与国际厂商竞争，机电一体类零部件、气体管路类零部 件与国外同类厂商仍有较大差距。 机械类零部件（包括工艺及结构零部件）富创精密专注于金属机械零部件，目 前不涉及非金属机械零部件。富创精密为该细分领域为数不多的进入国际半导体设备 厂商的内资供应商，可以实现部分应用于 7 纳米制程前道设备零部件的量产，直接与 国际厂商竞争。大陆地区其他供应商主要供应国内半导体设备厂商，富创精密属于国 内领先水平，提升了该细分领域的国产化水平。

机电一体类（包括非气柜模组的模组类产品）该类产品种类繁多，功能差异较 大，国内厂商供应的产品品类各有侧重，而富创精密目前主要涉及腔体模组、刻蚀阀 体模组等功能相对简单的模组产品，与京鼎精密等国际厂商相比尚有差距。此外，国 内半导体设备厂商仍然以采购非模组零部件，自行组装为主，从而从事与富创精密可 对标产品业务的国内厂商较少。 气体/液体/真空系统类（对应气体管路和气柜模组产品）该类产品种类繁多， 功能各异，国内厂商中新莱应材、万业企业（收购的 Compart System）、正帆科技也涉及富创精密生产的气体管路、气柜模组等产品，但占各自主营业务收入比例有限。 富创精密该类业务虽已进入国际半导体设备厂商，并可为国内厂商提供自主设计的气 柜模组产品，但与超科林等国际同业相比，所应用设备的工艺制程和业务体量仍有差 距。

3. 技术、产能优势显著

3.1.品类丰富、工艺完备有效节省客户成本

公司产品种类数量丰富，可提供多品类设备零部件，下游广泛覆盖 IC 制造核心 前道设备，能有效降低客户的采购时间成本及管理成本。同时公司的核心技术工艺完 备性全球少有，能为客户节省更多中间成本。 品类丰富，覆盖 IC 制造核心前道设备。半导体设备精密零部件具有多品种、小 批量、定制化的特点，由于工序繁琐、技术难度大，行业内大部分公司仅专注于单类 核心产品生产。公司可提供工艺零部件、结构零部件、模组产品、气体管路等多品类 产品，相关产品广泛应用于半导体设备领域，覆盖 IC 制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻 及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节设备，部分产品已应用于 7 纳米制 程的前道设备中。

实现一对多质量管控，有效降低客户采购时间成本和管理成本。客户向公司进行 多品类产品采购，可避免对单一精密零部件生产厂商分别认证，实现一对多产品质量 管控，降低采购时间成本和管理成本，同时，也有利于提升客户的产品效能，减少不 同精密零部件提供商产品之间的磨合。从产品种类来说，2019-2021 年公司年均向客 户交付首件种类超过 3000 种，首件实现量产种类超过 2000 种。 核心技术工艺完备性全球少有，有效节省客户中间成本。公司产品生产均需要多 道加工工序协同完成，各工序所涉核心技术均为该道工序中不可或缺的组成部分，其 中最具代表性的核心技术主要是精密机械制造技术、表面处理特种工艺技术和焊机技 术三类。公司具备的精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接、组装以及检测在内的 多种生产工艺和产能，其工艺完备性全球行业内少有，且相应工艺已获得国际龙头半 导体设备厂商认证。公司制造工艺的完备性不仅能为客户节省中间成本，还能更好把控产品洁净度和参数一致性，保证产品质量。

3.2.国际龙头认可率先受益国产替代

通过自主研发和依托国家“02 重大专项”，公司掌握的多种核心技术通过国内外 客户的终端验证，期间主要供给国外客户，业绩实现大幅增长。随着国内设备企业的 崛起，公司业绩有望凭借产品竞争优势再次实现快速增长。 海外龙头认可，国内产业链导入更加顺畅。2011 年，公司首次与国际龙头设备 厂商客户 A 合作，并通过其 SSQA 质量体系认证，成为合格供应商；2012、2013 年产 品通过上海微电子、拓荆科技等客户验证；2014 年与北方华创合作；2020 年与华海 清科合作。从中国大陆营收占比来看，国内供给加速放量，2018-2021 年中国大陆营 收占比从 14%增至 39%。

国内半导体前道设备处于快速发展阶段，2022 年上半年主要企业平均增速超过 62%。2019-2022Q2，北方华创、中微公司、拓荆科技-U、盛美上海、华海清科、芯源 微六家设备企业合计季度营收从 11.92 亿元增至 61.78 亿元；从年度合计营收来看， 2019-2021 年分别实现营收 74.20 亿元、104.48 亿元和 168.04 亿元，2022 年上半年 实现营业收入 102.56 亿元，同比增速达到 62.04%。

3.3.募投项目持续扩大产能供给

公司目前初步规划辽宁沈阳、江苏南通和北京三大产能基地，未来 3-5 年，公司 充分利用资本市场，进一步加快公司产能建设，保障客户日益旺盛的需求。目前公司 主要产能由沈阳原厂提供，2022 年沈阳原厂产能已经无法满足增长的订单需求，短 期内将由沈阳新厂承接产能，待南通新厂建成后转移半导体设备零部件产能。我们预 计，半导体设备零部件产能由沈阳原厂、南通新厂、北京新厂提供，合计至少约 35.5 亿元产值；专用设备零件产能由沈阳新厂、沈阳强航提供，合计约 15 亿元产值。

募投项目主要用于南通新厂建设以扩大产能供给。公司发行募集资金将用于集 成电路装备零部件全工艺智能制造生产基地及补充流动资金两项，其中生产基地建设 投资金额 10 亿元，其余 6 亿元用于补充流动资金。截至公司上市公告书，实际募得 资金净额为 33.95 亿元，超募资金约 17.95 亿元。

3.4.布局民用航空器零部件拓展第二产品曲线

专用领域零部件业务属于公司新开拓领域，未来有望成为公司的第二产品曲线， 其与半导体设备零部件生产工艺有别，同时考虑专用领域的特殊要求，公司已独立建 设产能。 随着政策推动以及国家“十四五”规划对专用领域产品需求大幅提升，客户 B 等 大型国有专用领域厂商自身产能有限，开始培育合格供应商提供配套产能，公司通过 多年积累，以过硬的产品技术通过首件认证和招投标陆续进入上述客户供应商体系。 2020-2021 年，公司已对客户 B 分别实现营收 878 万元、1970 万元，增速较快。

公司通过遴选成为客户 B“某产品专业化战略供应商培育项目”的牵头单位，通 过一年的可行论证及前期筹备，2021 年 12 月公司与其他投资方合资新设子公司沈阳 强航时代精密科技有限公司，承接客户 B 的某专用领域零部件产品生产加工业务。

富创精密实际控制沈阳强航实施专用领域精密零部件产能建设项目，可能用于 供给民用航空器零部件。根据沈阳强航股权结构，富创精密直接持有沈阳强航 27%股 份，通过融创精密间接持有沈阳强航 19%股份，合计持有股权 46%，是沈阳强航的实 际第一大股东。沈阳强航主营业务为民用航空器零部件设计和生产，我们认为公司该 项目主要用于航空零部件的产能供给。

4. 盈利预测

2019-2021 年公司半导体设备零部件业务占比均在 98%以上，其他业务主要为材 料及废料销售收入和租赁收入，占营业收入的比重较小。 2019-2021 年，半导体设备零部件业务收入分别为 2.49 亿元、4.73 亿元、8.29 亿元，2021 年公司产品全球市场规模超过 230 亿美元，市占率不到 1%，下游需求旺 盛，公司业绩增长主要取决于产能建设及产能的爬坡进度。

2022-2024 年，公司产能主要由沈阳原厂、沈阳新厂、南通新厂以及北京新厂贡 献。根据产能建设进度，2022 年产能主要由沈阳原厂以及沈阳新厂贡献，2022 年产 能主要由沈阳原厂、沈阳新厂、南通新厂贡献，2024 年主要由沈阳原厂、南通新厂、 北京新厂贡献。

沈阳原厂2019-2021 年，沈阳原厂的产能利用率分别为 62.70%、81.21%、90.17%， 预计 2022-2024 年继续维持 90%的产利用率。其中，2022 年沈阳原厂完成产能扩建， 2023-2024 年将不再扩充产能。根据 2021 年以及 2022 年 5 月沈阳原厂新增转固五轴 加工中心设备数量，预计 2022-2024 年带来营业收入分别为 12.31/12.31/12.31 亿 元。 沈阳新厂沈阳新厂达产年收入为 5 亿元，2021 年 11 月投产，预计 2022-2024 年营收分别为 2.0/3.5/5.0 亿元，2025-2026 年产能逐渐转移至专用领域零部件业务。 南通新厂:南通新厂达产年收入为 20 亿元，2022 年 11 月投产，预计 2022-2024 年营收分别为 0/6/12 亿元。 北京新厂北京新厂达产年收入为 7.5 亿元，2024 年 1 月投产，预计 2022-2024 年贡献营业收入分别为 0/0/2.25 亿元。

综上，预计 2022-2024 年公司实现营业收入分别为 14.31/21.81/31.56 亿元， 增速分别为 69.71%/52.42%/44.71%。2019-2022H1 公司毛利率分别为 17.18%、31.58%、 32.04%、33.57%，预计 2022-2024 年公司毛利率为 33%/34%/35%。

（本文仅供参考，不代表我们的任何投资建议。如需使用相关息，请参阅报告原文。）

详见报告原文。   

精选报告来源【未来智库】