富创精密半导体零部件国产替代正当时，国产领军者成长可期

（报告出品方兴业证券）

1、富创精密半导体零部件领先厂商，供应全球设备龙头

1.1、国内金属零部件龙头，客户资源优质

富创精密是在 2008 年由沈阳先进、辽宁科发等共同设立，一直专注于金属材料零 部件精密制造技术，目前已是国内半导体设备精密零部件的领军企业，也是全球 为数不多的能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商，客 户覆盖全球半导体设备龙头厂商及国内知名设备厂商。

公司掌握了可满足严苛标准的精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接、组装、 检测等多种制造工艺，主要产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体 管路四大类，应用于半导体设备、泛半导体设备及其他领域。

公司 2021 年业务结构中占比最大的为结构零部件，主要在设备中起连接、支撑等 作用，收入占比约 42%；而技术要求较高的腔体、匀气盘等工艺零部件占比约 21%； 而公司近年新开拓的气体管路业务快速成长，2021 年占比达到约 16%，模组产品 则占比约 19%。

公司产品主要应用于半导体设备，2021 年占比提升至 88%，此外在显示面板设备 等领域也有应用。公司客户覆盖国内外知名半导体设备厂商，集中度相对较高， 尤其客户 A 占比高达 56%，此外北方华创、华海清科等也都是公司客户。

1.2、股权结构清晰，技术积累深厚

富创精密第一大股东为沈阳先进，持有 22.55%股份，实际控制人为公司董事长兼 总经理郑广文，合计可控制 34.03%的股份表决权。沈阳先进原属中国科学院沈阳 自动化研究所旗下，在股权改革引入投资者时，郑广文认可研究所的相关技术资 源和产业化机会从而投资入股，其后又通过沈阳先进投资设立公司前身富创有限。 同时，宁波祥浦和上海国投持股比例也较高，分别持有公司 21.56%和 18.22%股 权。而辽宁科发（实控人为辽宁省国资委）、辽宁中德各持有 6.38%股权。此外， 宁波芯富、宁波良芯、宁波芯芯为公司员工持股平台，股权合计约 5.1%。

公司专注于金属材料零部件精密制造技术，高管及核心技术人员也大多具有多年 相关从业经验，人才和技术积累深厚。同时公司还与中国科学院沈阳自动化研究 所、中国科学院金属研究所、大连理工大学等高校、科研机构开展研发合作，并 承担了 02 专项项目。

1.3、产品持续放量，业绩快速增长

近年来受益于行业高景气，全球半导体设备龙头订单充裕，国内设备公司更是处 于快速成长期，同时公司不断拓展客户和产品，品类和份额持续提升，带动公司 收入规模持续快速增长。而随着规模效应显现，2020 年以来公司净利润呈现更高 速增长。

公司近年毛利率整体稳定，基本保持在 30%-35%之间，而 2019 年毛利率较低主 要是因为行业景气度较弱，且公司当年预投产能转固大幅增加折旧与摊销，产能利用率较低，各类产品及整体毛利率处于较低水平。而在毛利率稳定的情况下， 得益于公司收入体量快速扩大，规模效应显现，近年公司费用率整体呈现明显改 善，带动净利率也有明显提升。

分业务看，公司工艺件和结构件毛利率除 2019 年外整体保持稳定，新拓展的气体 管理产品则随着放量逐渐提升到合理水平。而模组产品毛利率相对较低，主要是 因为该业务需外购电子标准件、机械标准件，并结合公司自身产品进行组装。

在当前时点，全球半导体设备厂商订单依然饱满，国内半导体设备公司在下游扩 产及份额提升下仍处于快速增长阶段，而随着设备厂商也开始推进零部件的国产 化，公司订单和业绩有望持续高增长。公司近两年存货快速增加，截止 2022H1 期 末金额达 3.97 亿元，佐证公司在手订单充足，公司积极储备关键原材料。同时， 据公司披露，预计 2022 年前三季度公司可实现收入 9.8 -10.3 亿元，同比增长约 71-80%，归母净利润 1.63 -1.75 亿元，同比增长约 98-113%，扣非后 1.23-1.33 亿 元，同比增长约 132-150%，持续高速增长。

2、半导体零部件国产替代正当时，金属零部件龙头深度受益

2.1、半导体零部件半导体设备重要组成部分，品类多、空间大

半导体设备精密零部件指的是半导体设备中所用到的上游精密零部件，是半导体 设备的重要组成部分，具体包括各种 Pump（泵）、Valve（阀门）、O Ring（密封 圈）、ESC（静电吸盘）、Shower Head（气体喷淋头）等，同时晶圆制造厂商也会 采购各种精密零部件以支撑产线正常持续生产或作为备件使用。

半导体零部件作为半导体设备上游占比极大的重要组成部分，其整体市场空间巨 大，同时零部件具有显著的多品种、小批量、定制化的特点，其细分种类极多、 数以千计。我们在行业深度报告《半导体零部件国产化浪潮起，优质厂商迎发展 良机》中已经对半导体零部件市场规模、结构、格局进行了详细的梳理和测算。 规模方面，半导体用零部件品类极多、分散度高，我们分设备厂采购和晶圆厂采 购两部分来测算其市场规模

设备厂方面，由于设备厂商成本构成中直接材料占比约在 80%-90%，而设备 厂商毛利率多在 40%-50%，因此直接材料占设备厂商销售额约在 40%-54%； 而精密零部件占原材料采购比例较高，根据定义不同，基本也在 80%-90%以上。结合起来测算，半导体零部件占半导体设备市场规模的比例约在三到五 成之间，若取中值四成比例，而 2021 年前道晶圆制造设备规模约为 875 亿美 元，则对应零部件市场规模约在 350 亿美元左右。

晶圆厂方面，据芯谋研究口径，2020 年中国大陆晶圆线 8 英寸和 12 英寸前 道设备零部件采购金额超过 10 亿美元，结合大陆产能在全球占比情况，预计 全球晶圆厂对前道设备零部件采购金额在 60 亿美元以上。 结合设备厂及晶圆厂采购金额，我们测算全球半导体零部件市场规模在 400 亿美 元以上。 具体采购结构方面，先从下游半导体设备厂商的采购原材料来看，据富创精密招 股书统计，半导体设备厂商采购原材料主要包括机械类、机电一体类、电气类、 真空系统类、仪器仪表类等，进一步来看干法设备、湿法设备等不同细分半导体 设备的上游原材料结构也各有区别。

而晶圆厂采购结构方面，从芯谋研究统计数据来看，大陆晶圆厂采购零部件中金 额占比较大的主要有石英件（Quartz）、射频电源（RF Generator）、各种泵（Pump） 等，占比在 10%及以上，此外各种阀门（Valve）、吸盘（Chuck）、反应腔喷淋头 （Shower Head）、边缘环（Edge Ring）等零部件的采购占比也比较高。

2.2、国内下游设备厂商持续高增长，零部件迎国产替代良机

中芯国际、长江存储、长鑫存储等国资晶圆厂/存储厂产线在各自领域实现关键突 破，将会持续加大资本开支推动扩产。我们测算 2022 年-2024 年国资背景晶圆厂 资本开支仍有较快增速，随着资本开支落地，2024 年国资 12 寸逻辑代工产线及 存储产线产能相较于 2021 年将大幅提升。 具体来看，中芯国际自 2020 年被美国加入实体清单后，战略方向逐渐向成熟制程 扩产倾斜，2021 年以来先后发布公告将分别在北京、深圳、上海、天津加大投资 进行成熟制程扩产，尤其是 2022 年 8 月最新公告的天津厂扩产，彰显了公司扩产 不受行业景气扰动的意志和心，我们认为中芯国际未来 2-3 年扩产节奏和资本 开支增速依然会保持较快水平。

长江存储和长鑫存储是国内在存储芯片 3D NAND、DRAM 等领域的代表厂商， 经过多年的技术积累后，正逐渐缩小与海外龙头的技术差距，而随着新一代节点 也持续取得良好突破，我们预测长江存储和长鑫存储都将加速扩产，推动资本开 支持续向上。

同时，国内晶圆厂存储厂近年在扩产过程中正逐渐提升国产化比例，推动国产设 备订单快速提升。而美国仍在持续限制中国半导体产业，我们认为进一步凸显了 自主可控的重要性和紧迫性，预计国产化比例仍将快速提升。因此，国内晶圆厂 资本开支持续增长叠加国产化比例不断提升，将双轮驱动国产设备订单快速成长。

同时，国内设备厂商也在积极寻求上游供应链的自主可控，零部件国产替代浪潮 已然掀起。目前半导体零部件供应格局以海外厂商为主，国内自给率较低，既因 产业壁垒高、市场碎片化，也因为国内下游半导体设备产业不发达，国内零部件 厂商缺乏技术基础、发展性价比不高。据芯谋研究统计，石英件、边缘环、Shower Head 等部件自给率超过 10%，而泵、机械臂、阀等部件自给率都极低。

而随着下游晶圆制造厂及设备厂商迎来高速发展期，且在外部环境不确定背景下 各环节自主可控进程加速，零部件环节已在 2021 年开启替代元年，未来三年正是 替代高峰期。在一些细分品类实现技术和客户突破的优质厂商，其订单和业绩有 望加速释放。

2.3、富创精密全球半导体设备龙头供应商，国产替代深度受益者

富创精密的产品主要包括机械类（金属工艺件和金属结构件）、气体系统类（气体 管路和气柜）、机电一体类（模组产品），据公司招股书测算，公司所涉及的精密 零部件市场估计超过半导体设备市场的 20%，其全球市场规模 2020 年约 160 亿 美元。

分业务来看 公司机械零部件主要为金属工艺件和金属结构件，目前不涉及石英件、硅部件、 陶瓷件等非金属机械零部件。全球金属类机械件的领先厂商主要为中国台湾京鼎、 日本 Ferrotec 等海外厂商，国内也有富创精密、靖江先锋、托伦斯、江丰电子等 供应商，整体上来看海外大厂体量较国内厂商更大，但机械类零部件技术突破难 度相对较低，国内已有较高的国产化率。 鸿海集团旗下公司京鼎在半导体领域的业务涵盖半导体设备系统组装和关键零部 件，并涉足备品耗材及设备翻新维修服务，具备垂直整合能力，其中零部件包括 真空腔体、设备机体、真空元件（真空阀等）、精密结构件等。京鼎是 AMAT 公司 精密零部件的亚洲核心供应商之一，2021 年收入约 123 亿新台币（折合人民币约 28 亿元），其中第一大客户占比高达 84%。

日本 Ferrotec 是国际知名的半导体产品与解决方案供应商，主要提供半导体及面 板制造设备等使用的真空密封传动装置、石英件、精密陶瓷件、CVD-SiC 件、硅 部件、石英坩埚等产品，以及电子器件等相关的热电致冷器、陶瓷基板、磁流体 等产品。

Ferrotec 半导体设备等相关业务 2021 财年收入约 821 亿日元（折合人民币为 40+ 亿元），其中石英件、硅部件、陶瓷件、CVD-SiC 件等产品收入约 516 亿日元，真 空及金属产品收入约 137 亿日元。其产品销售主要集中在中国、美国、日本，而 Lam Research 是公司主要客户之一，2021 财年贡献收入约 168 亿日元。

Ferrotec 多项业务都具有领先的行业地位，其半导体洗净业务（对应子公司富乐德 拟科创板上市）、热电半导体致冷器、磁流体真空密封系统、石英件等产品均在国 内占有较高市占率，同时也是国内最大的半导体级铝腔体和真空不锈钢焊接腔体 制造商之一，并提供真空法兰、配管等精密零部件。

国内部分厂商同样在精密金属零部件有所突破，实现了一定的国产化率，如靖江 先锋、托伦斯、江丰电子等公司也都提供铝合金腔体、不锈钢腔体，并供应不尽 相同的金属零部件。整体上来看，由于金属件细分种类依然极多，不同国产厂商 尚有差异化竞争空间及各自的独到产品。 另一方面，靖江先锋、托伦斯、江丰电子等多数国内供应商的客户仍以国内半导 体设备厂/晶圆厂为主，海外龙头客户突破相对有限。而富创精密除已覆盖北方华 创、屹唐股份、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微、中科装备、凯世通 等主流国产半导体设备厂商外，更是较早便实现对全球设备龙头 A 公司、TEL、 ASMI、日立高科等诸多海外知名客户供应链的切入，尤其是第一大客户 A 收入 占比高达 56%，且部分腔体、内衬、匀气盘等高端产品已应用于客户 7 nm 制程的 前道设备中。

而在气体系统类，公司主要产品为气体管道和气柜模组。气体系统的全球头部供 应商主要为超科林、Ichor 等知名企业，而国内厂商目前突破相对有限，除富创精 密外，还有新莱应材以及 Compart System（万业企业间接为第一大股东）有所布 局，但目前体量和技术水平都与龙头厂商有明显差距。 超科林（Ultra Clean Tech）2021 年收入为 21 亿美元，主要分产品（化学品输送模 组、框体组装、气体输送系统、液体输送系统、精密机械臂、工艺模组等）和服 务（超洁净部件清洗、工具部件涂层等）两个部门，其中产品部门是公司收入的 最主要来源。超科林广泛覆盖下游主流客户，其中 Lam Research 和 AMAT 占据公 司约六成收入。

Ichor 是全球领先的半导体设备关键流体输送子系统及组件的供应商，尤其在气体 输送系统具有较高份额，同时也提供精密机械件、焊件、塑料件等产品。Ichor 公 司 2021 年收入约 11 亿美元，其前两大客户同样是 Lam Research 和 AMAT，收入 占比分别为 53%和 32%。

国内从事气体系统类的公司相对较少，主要有新莱应材、Compart System（万业企 业间接为第一大股东）等，公司和新莱应材气体系统类业务均体量尚小、处于拓 展阶段，Compart 则自 2020 年底被收购后逐步开始对国内客户的切入，整体来看 国产化比例还有较大提升空间。 公司气体管路产品已通过客户 A、北方华创等核心客户认证，持续量产供货，近 年收入持续高速放量。未来随着公司持续产品拓展和市场开拓，公司该业务有望 保持快速增长。

整体来看，无论是金属零部件业务还是气体管路业务，国内厂商和国际龙头相比 体量都还较小，且国际龙头往往在业务范围和产品品类方面都更为全面；同时， 国际龙头往往覆盖下游全球顶尖客户，且技术水平可覆盖最先进制程节点，而国 内厂商较多仍以国内客户为主。 而富创精密作为国内顶尖的精密零部件龙头厂商，在客户和技术方面都处于国内 领先地位。客户方面，公司既是国内少有的进入了客户 A、ASMI、日立高科、东 京电子等国际设备大厂的供应链体系的零部件厂商，同时也实现了对国内主流设 备厂的覆盖，且随着国内设备厂的高速成长以及国产替代的推进，公司来自北方 华创、拓荆科技等国内客户的收入占比呈提升趋势。

而在技术方面，如前文所述，公司多类产品已可实现在 7nm 设备上的量产应用， 其背后则是公司长久以来积累起的深厚技术和持续研发投入。公司形成了精密机 械制造技术、表面处理特种工艺技术、焊接技术等核心技术，多项技术达到或超 过主流国际客户标准，广泛应用于公司各类产品，并通过保密措施、专利、股权 激励等方式进行了保护。

我们认为，受益于国内下游设备厂的持续快速成长以及国产替代加速，国内零部 件厂商迎来发展良机，而富创精密作为国内产品覆盖范围较广、客户结构优质、 技术节点先进的领先厂商，将是国产替代的深度受益者。 而在产能基地建设方面，公司既在沈阳原厂房进行改造项目，以应对国际客户继 续增长的订单需求；并进行南通新厂房建设项目和北京新厂房建设项目，聚焦中 国大陆客户未来需求，预计分别于 2022 年 11 月和 2024 年 1 月投产，于 2025 年 11 月和 2027 年 1 月达产，达产后年产值分别为 20 亿和 7.5 亿元；此外，公司在 专用领域实现突破，成为客户 B 供应商，为此进行产能建设，将成为公司新的业 务增长点。

3、盈利预测

核心假设

工艺零部件随着国内下游设备厂商快速发展，公司积极拓展客户和品类，提升 市场份额，预计工艺零部件 2022-2024 年收入分别为 2.83 亿元、4.15 亿元、6.11 亿元，而随着内销客户占比提升，毛利率略有下滑。

结构零部件随着国内下游设备厂商快速发展，公司积极拓展客户和品类，提升 市场份额，预计工艺零部件 2022-2024 年收入分别为 5.26 亿元、7.81 亿元、11.06 亿元，而随着内销客户占比提升，毛利率略有下滑。

模组产品公司模组产品开拓卓有成效，受到主要客户认可，未来几年有望进一 步快速放量，我们预计模组产品 2022-2024 年收入分别为 2.87 亿元、4.45 亿元、 6.80 亿元，随着规模效应显现，毛利率稳步提升。

气体管路公司气体管路产品为近几年新拓展的业务，随着继续拓展客户以及份 额提升，将持续快速增长，预计 2022-2024 年收入分别为 2.85 亿元、4.27 亿元、 6.45 亿元，预计毛利率整体保持稳定。

我们预计，公司 2022-2024 年收入分别为 14.01 亿元、20.98 亿元、30.82 亿元，归 母净利润分别为 2.13 亿元、3.22 亿元、4.72 亿元。

（本文仅供参考，不代表我们的任何投资建议。如需使用相关息，请参阅报告原文。）

详见报告原文。   

精选报告来源【未来智库】