机械设备&专用设备行业半导体设备中标双月报(23年1-2月)

23 年1-2 月晶圆厂开标量低位运行，扩产节奏后续有望底部反转我们以长江存储、华力集成、上海积塔、时代电气、中芯绍兴等11 家中国大陆主要的IDM 或代工厂为样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。23 年1-2 月国内11 家晶圆厂开标56 台设备，环比（22 年11-12 月148 台）、同比（22 年1-2 月146 台）均有下降。由于下游去库存速度尚未快速推进，晶圆厂扩产节奏仍处于低位。但参考此前中芯国际在产能利用率下降背景下仍维持2023 年资本支出同比持平的预期，我们认为随着下游去库存推进，晶圆厂扩产有望底部反转，利好本土设备商国产替代。

    23 年1-2 月11 家晶圆厂开标56 台设备，测试、沉积、炉管占主要份额2023 年1-2 月国内11 家晶圆厂共开标56 台工艺设备，主要来自上海积塔（30 台）、华虹无锡（15 台）、时代电气（6 台）、燕东微电子（4 台）、华力集成（1 台）。2023 年1-2 月开标的56 台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为测试设备（17 台）、沉积设备（13 台）、炉管设备（10 台）、前道检测设备（7 台）、刻蚀设备（4 台）、光刻机（2 台）、离子注入机（2 台）、涂胶显影设备（1 台）。

    受国内测试、刻蚀、炉管等设备厂家拉动，中标国产率持续提升2023 年1-2 月中国大陆设备中标数量为26 台，国产率达46.4%。分晶圆厂看，2023 年1-2 月，时代电气设备国产率超70%；分设备看，2023 年1-2月国产率较高的环节主要为沉积设备（国产率69.2%）、刻蚀设备（50.0%）、光刻设备（50.0%）、前道检测设备（42.9%）。聚焦1-2 月份国内中标厂商，嘉芯迦能（中标4 台）、北方华创（中标3 台）、睿励科学（中标3 台）、杭州中安电子（中标3 台）排名靠前，持续体现国内厂家在刻蚀、炉管等设备环节的强势地位。嘉芯迦能与万业企业有股权关系。

    关注半导体设备国产替代领军企业

    半导体设备国产率低的背景也带来了较高的国产替代空间，国内半导体设备经过多年励精图治，已经涌现出多家在关键设备领域引领国产替代的厂家，在刻蚀、沉积、炉管、清洗、检测测试、离子注入等多环节实现了国产替代。随着半导体周期回暖和国内设备企业国产化进度加速，设备商有望率先受益于下游补库存带来订单释放，具有技术优势的龙头设备公司有望持续受益。

    风险提示晶圆厂扩产不及预期、设备公司研发不及预期、中美贸易摩擦风险。

来源[华泰证券股份有限公司 倪正洋]   日期2023-03-15