【半导体设备招投标数据库22年4月】华虹/积塔招标88/77台，华创/长川/华峰/中微中标39/32/14/12台

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设备行业回暖，近期关注【低估值+有业绩支撑】的标的

2021很多国产半导体设备及材料实现了0-1的跨越，2022年将逐步进入到1-N的放量过程，预计国产替代的速度将不断加快，我们持续看好半导体设备及材料国产替代的逻辑，是未来的长周期优质赛道。

2022年头部晶圆厂资本开资持续上行，尚处于景气周期内。

2021-2022年TSMC（300/420亿美金，同比+40%，下同），SMIC（45/50，+11.11%），XMC/YTMC（33/34，+3.03%），Huahong Group（20/25，+25%）、UMC（18/30，+66.67%），五家合计（416/559，+34.38%）。

国内半导体设备4月招投标数据（仅限于已公布的数据）

国内晶圆厂商招标数据

华虹半导体干法刻蚀+17台，前道检测+16台，前道计量+7台，干法清洗+7台，刷片机+4台，涂胶显影+9台，退火+1台，氧化扩散+27台；

华力微电子干法刻蚀+1台；

上海新微后道测试机+1台，探针台+1台；

上海积塔半导体PVD+2台，CVD+7台，光刻机+1台，干法刻蚀+14台，前道检测+3台，前道计量+3台，湿法清洗+4台，刷片机+5台，涂胶显影+3台，化学机械研磨+1台，退火+2台，离子注入+3台，氧化扩散+27台，探针台+2台；

福建晋华湿法刻蚀+1台，前道检测+3台，前道计量+2台，涂胶显影+1台，离子注入+1台；

国内设备厂商中标数据

北方华创PVD+1台，干法刻蚀+17台，氧化扩散+21台；

芯源微刷片机+5台，涂胶显影+3台；

盛美半导体湿法刻蚀+1台；

中微公司干法刻蚀+12台；

华峰测控后道检测+14台；

屹唐半导体去胶+7台，退火+1台；

上海精测半导体前道检测+1台；

中科飞测前道检测+1台；

长川科技测试机+24台，分选机+8台；

半导体设备行业投资建议建议关注上市公司包括北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海、至纯科技、华峰测控、长川科技、芯源微、万业企业、光力科技、华兴源创、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASMPacific（H）；非上市公司有屹唐半导体、华海清科、上海微电子、睿励科学仪器、东方晶源。