人谷2018
集微网消息,国家知识产权局消息显示,中芯国际“半导体结构及其制造方法”专利获授权,授权公告日为7月13日。该专利申请号为2016107563247,授权公告号为CN107785422B。
据悉,专利权人为中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司。
图片来源国知局
专利摘要显示,所述方法包括提供基底;刻蚀基底,形成衬底以及凸出于衬底的鳍部;在相邻鳍部之间的衬底内形成沟槽;在沟槽侧壁的衬底内形成防扩散掺杂区;形成防扩散掺杂区后,在所述沟槽中形成隔离结构;形成横跨鳍部且覆盖部分鳍部顶部和侧壁表面的栅极结构;在栅极结构两侧鳍部内形成源漏掺杂区。
本发明在相邻鳍部之间的衬底内形成沟槽后,在沟槽侧壁衬底内形成防扩散掺杂区;后续在栅极结构两侧的鳍部内形成源漏掺杂区后,防扩散掺杂区位于源漏掺杂区之间的鳍部底部,即位于器件沟道区位置处;所述防扩散掺杂区可以抑制源漏掺杂区的掺杂离子向沟道区扩散,从而可以减少沟道漏电流,进而可以提高半导体结构的电学性能。(校对/若冰)
分享:
请输入验证信息:
你的加群请求已发送,请等候群主/管理员验证。
数据来自赢家江恩软件>>
虚位以待
暂无
9人关注了该股票
长期未登录发言
吧主违规操作
色情、反动
其他
*投诉理由
答:中芯国际公司 2023-12-31 财务报详情>>
答:世界领先的集成电路晶圆代工企业详情>>
答:中芯国际的子公司有:10个,分别是详情>>
答:中芯国际所属板块是 上游行业:详情>>
答:(1)新应用推动市场需求持续旺详情>>
民生证券:纺织行业景气度回升 相关设备有望受益
尾气治理概念逆势上涨,概念龙头股南华仪器涨幅19.97%领涨
燃料乙醇概念逆势走强,*ST海越以涨幅4.9%领涨燃料乙醇概念
电子身份证概念逆势走强,概念龙头股任子行涨幅20.0%领涨
人谷2018
中芯国际“半导体结构及其制造方法”专利获授权
集微网消息,国家知识产权局消息显示,中芯国际“半导体结构及其制造方法”专利获授权,授权公告日为7月13日。该专利申请号为2016107563247,授权公告号为CN107785422B。
据悉,专利权人为中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司。
图片来源国知局
专利摘要显示,所述方法包括提供基底;刻蚀基底,形成衬底以及凸出于衬底的鳍部;在相邻鳍部之间的衬底内形成沟槽;在沟槽侧壁的衬底内形成防扩散掺杂区;形成防扩散掺杂区后,在所述沟槽中形成隔离结构;形成横跨鳍部且覆盖部分鳍部顶部和侧壁表面的栅极结构;在栅极结构两侧鳍部内形成源漏掺杂区。
本发明在相邻鳍部之间的衬底内形成沟槽后,在沟槽侧壁衬底内形成防扩散掺杂区;后续在栅极结构两侧的鳍部内形成源漏掺杂区后,防扩散掺杂区位于源漏掺杂区之间的鳍部底部,即位于器件沟道区位置处;所述防扩散掺杂区可以抑制源漏掺杂区的掺杂离子向沟道区扩散,从而可以减少沟道漏电流,进而可以提高半导体结构的电学性能。(校对/若冰)
分享:
相关帖子