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结果显示,北方华创成都品茶年拓荆科在号基地技个工作室【【芯源微(r1543678)股吧】(股吧】、阿斯麦(ASML)等成功中标上海积塔特色工艺生产线项目33台设备。
其中,北方华创中标10台设备,包括合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射设备等;、股吧】中标3台二氧化硅等离子薄膜沉积设备、8台二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积设备;芯源微中标1台聚合物涂胶显影机;阿斯麦(ASML)中标2台i-line光刻机、1台KrF光刻机。
以此计算,北方华创、拓荆科技、芯源微三家合计中标量占比约67%,国产设备比重较大。
那么,从今年1-4月国内主要晶圆厂对于半导体设备采购的中标情况来看,国产半导体设备的占比又有多高呢?
国内十大晶圆厂今年1-4月设备采购累计开标401台
由于半导体设备应用的工艺流程和重要性的不同,我们主要统计光刻、刻蚀、沉积、清洗等涉及核心工艺的关键设备中标情况,并将关键半导体设备区分为制程核心设备(包含光刻、刻蚀、沉积、离子注入设备)、良率提升设备(包括前道检测设备、后道测试设备、清洗设备)以及重要辅助设备(包括炉管设备、CMP 抛光设备、干法去胶设备、涂胶显影设备),并排除二手翻新设备影响。
通过对长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯 10 家中国大陆主要的 IDM 或晶圆代工企业为统计样本,通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022 年 4 月国内 10 家主流晶圆厂共开标 108台工艺设备,前四个月合计开标 401 台工艺设备。
2022 年 4 月开标的 108 台设备主要来自上海积塔(78 台)、华虹无锡(20 台)、福建晋华(5 台)、时代电气(3 台)、华力微电子(1 台)、华力集成(1 台),上海积塔及华虹无锡扩产贡献主要增量。
2022 年 1- 4 月开标的 401 台设备主要来自华虹无锡(268 台)、上海积塔(104 台)、时代电气(14 台)、福建晋华(12 台)、华力集成(2 台)、华力微电子(1 台),华虹无锡及上海积塔贡献主要增量。
1-4月采购设备以炉管、刻蚀、沉积设备为主
晶圆厂设备布局往往以光刻机为核心,围绕以多台刻蚀、薄膜沉积、清洗等设备,由于不同招标批次对应设备采购种类不同,因此不同时期工艺设备招标种类也会有所不同。
2022 年 4 月开标的 108 台设备中,按照不同工艺设备开标数量从高到低排列,分别为炉管设备(30 台)、刻蚀设备(29 台)、前道检测设备(10 台)、清洗设备(10 台)、干法去胶设备(9 台)、沉积设备(8 台)、离子注入机(4 台)、涂胶显影设备(4台)、后道测试设备(2 台)、光刻机(1 台)、抛光设备(1 台)。炉管、刻蚀设备贡献 2022 年 4 月主要扩产增量。
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