中微公司(688012)刻蚀量价双升带动22年业绩高增 内...

事件概述

      公司发布2022 年报实现收入47.40 亿元，同比+52.50%，归母净利润11.70 亿元，同比+15.66%，扣非后归母净利润9.19 亿元，同比+183.44%；2022 年非经损益较21 年减少4.

      37 亿元，其中政府补助减少1.65 亿元，投资收益减少3.42 亿元；2022 年新签订单金额达63.2 亿元，YoY+53.0%；2022 年毛利率为45.74%，同比增加2.38pcts，主要系刻蚀和MOCVD 毛利率双升。22Q4 实现收入16.97 亿元，同比+63.88%，归母净利润3.77 亿元，同比-19.75%，扣非后归母净利润2.76 亿元，同比+72.79%。

      刻蚀量价齐升带动22 年业绩高增

      2022 年刻蚀设备收入为31.47 亿元，YoY+57.07%，毛利率达47.00%，YoY+2.68pcts。量价拆分来看，全年刻蚀设备共销售441 腔（付运475 腔，YoY+59.40%），YoY+51.03%，可测算单价713.6 万元/腔，YoY+4.00%，公司刻蚀设备产品升级带来ASP 提升。公司针对先进制程的双机台刻蚀机性能不断完善，在国际5nm 及以下产线实现多次批量销售。鉴于刻蚀设备营收占比高达66.4%，且其毛利率为47.00%，高于公司综合毛利率45.74%，刻蚀设备量价齐升带动公司业绩高增。

      CCP 和ICP 工艺齐升级，先进逻辑&3D NAND 空间进一步打开1）CCP截至2022 年末，CCP 累计装机2320 腔，5nm 及以下设备实现多次批量销售，累计装机超200 腔。已经入2D 和3D 存储产线。大马士革（28nm 及以下逻辑）和高深宽比（存储）工艺攻关，取得良好进展。中微2021 年进行60:1 高深比设备研发，有望在未来长存扩产中发挥至关重要作用。2）ICP截至2022 年末，ICP 客户超20 家（含逻辑、DRAM、3D NAND），累计装机460 腔，工艺覆盖超100 个，在先进封装、2.5D 封装和MCU 领域获得批量重复订单。Nanova 单台机年增超100%，市占率迅速扩大，双台机亦进入产线，200+机台在产线生产。同时，公司通过研发晶圆边缘保护功能和低频偏压系统，推出了Twin-StarSE 产品，拓展了公司双台机ICP 刻蚀设备在功率器件、Micro-LED、Meta Lens 等特色器件的刻蚀市场。

      内升+外延打造高端装备平台企业

      1）内升公司开发的钨CVD 具备优秀的阶梯覆盖率和填充能力，能够满足先进逻辑器件、64/128 层3D NAND 中多个关键应用，正在开发的ALD 钨设备，已和关键客户开始对接验证，用于高端存储和逻辑器件的ALD 氮化钛设备也在稳步推进，进入实验室测试阶段。此外，公司正筹划更先进制程的薄膜设备。2）外延2022 年公司对睿励增资1.08 亿元，并0.43亿元受让睿励老股东股权，至2022 年末累计投资睿励2.51 亿元，持有34.75%的股份。此举加大了公司在集成电路工艺检测领域的布局，睿励是国内少数进入国际领先12 寸产线的量测企业，是国内唯一进入三星产线的设备企业，睿励12 寸量测已进入至28nm 及以上制程产线，14nm 验证中，并支持64 层3D NAND 生产、96 层“工艺”验证中。

      投资建议

      公司在刻蚀领域的驱动力主要来自产品升级和在国产二线Fab 的较快放量，基于公司22 年业绩，我们调整公司2023/24/25 年预测归母净利为14/18/22 亿元（23/24 年原预测为15/19 亿元），对应PE 为63/50/41 倍，考虑到公司作为国内刻蚀、MOCVD 设备领军企业之一，技术实力国内领先，维持“买入”评级。

      风险提示

    行业景气不及预期，研发进展不及预期，客户处产品验证不及预期。

来源[中泰证券股份有限公司 王芳/杨旭/游凡]   日期2023-04-02