无论半导体有无万亿补贴！高端制造业国产替代也是大方向

昨天消息面上传闻中国最新拟投资总规模1430亿美元（折合人民币10046亿元）扶持国内芯片企业，主要用于鼓励中国企业购买本土半导体设备，提供20%采购成本补贴。该计划将持续五年，通过补贴和税收减免等形式，最快有望在2023年第一季度实施。

该消息还称中国国企与私企都有望受益，特别是北方华创、中微公司、芯源微等大型半导体设备厂商。这个消息虽然没有被证实，但是半导体板块上涨。

这几年半导体板块一直比较火，原因大家也知道，外围对我们半导体芯片实行的限制这些消息也一直都在，比如2022年8月份，美国生效的《2022芯片与科学法案》中，就提出对半导体制造以及半导体设备厂商进行补贴，提供25%的先进制造业投资税收抵免，但接受投资税收抵免的企业不得在中国等地扩建半导体生产设备。还有10月份，美国商务部产业和安全局（BIS）修改出口管制条例，进一步限制中国获得先进计算芯片、开发和维护超级计算机以及制造先进工艺的能力，国际半导体设备厂商科磊、ASML等更是传出裁撤中国团队的消息。

最近也有针对今年10月美国对华半导体出口的新管制措施，我国将美国对华芯片等产品的出口管制措施诉诸世贸组织争端解决机制。

在半导体产业链，大家常听的半导体被卡脖子，主要指的就是我国半导体设备和材料，这部分是技术难度最大的地方，这部分是半导体产业的基础，国内的自给率很低，半导体设备和材料整体国产化率均在12%左右，多数是依靠进口。

其中材料里的技术难点是硅片以及光刻胶。硅片是半导体制造的基石，是成本占比最高的半导体材料。半导体硅片对于纯度等要求比光伏硅片更高，附加值也更高。这部分主要是日本和德国等海外厂商在做，他们的技术已经比较成熟。

光刻胶、光刻机也很重要，我国做光刻胶做的也不好，日本等厂商做的比较好。还有就是光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备。这几个也是比较关键的设备，光刻机的作用是把设计好的电路图通过光线的曝光成像到晶圆上的设备，这个过程中需要用到光刻胶。

我们做刻蚀机的有几家企业，这部分的技术做的比光刻胶要好一些。像中微公司、北方华创、屹唐股份分列国内前三，中微公司工艺覆盖范围相对较广，其主力出货类型为 CCP（电容耦合等离子刻蚀），面向介质刻蚀较多，同时也在ICP电感耦合等离子刻蚀上加快研究。北方华创主要工艺覆盖为多晶硅、浅沟槽、铝刻蚀等类型，主要面向金属、硅等导体刻蚀为主。根据方正证券研报数据，刻蚀设备国产化率已接近20%。

中微公司等离子体刻蚀设备图

再比如薄膜沉积技术，它起到的作用是对所使用的材料赋与某种特性，在材料表面上以各种方法形成被膜而加以使用。在这方面我国国产化很低，虽然有拓荆科技、北方华创、盛美上海等厂家在做，比如北方华创主要为 PVD（物理气相沉积），盛美上海涉及电镀设备，但和国外相比存在不少技术差距。薄膜沉积设备国产化率估计仅5.5%（按设备数量口径），还是在较低水平。 

图片来源北方华创官网

如今，国产半导体设备类企业能满足下游晶圆厂商大部分成熟制程（28nm及以上的逻辑芯片等）以及少部分先进制程的需求。在28nm及以上的逻辑芯片、128层以下的NAND存储芯片以及20nm以上的DRAM芯片的主要设备中，国产设备在刻蚀、薄膜沉积、清洗、涂胶显影等大部分都可以进行替代。但光刻设备较为特殊，国产设备只能应用于90nm以上的领域，相对来说与国外的差距更大一些。

半导体行业里对设备精度的要求很高，我们也能想象出来，半导体设备零部件需要强度、抗腐蚀性等特性。技术含量更高，种类也非常多，相应的毛利率也会更高一些，很多做得好的半导体设备零部件企业，毛利率能够爬上30%。

这几年中标情况下，半导体设备开始了国产替代加速期，中微公司、北方华创、盛美上海、华海清科、屹唐半导体、拓荆科技、芯源微等公司是国产替代主力军。其他也有做的不做的，像2019-2021年，长江存储国产化率从9.57%提升至25.65%，中芯绍兴从10.07%提升至25.29%，上海积塔从27.27%提升至 41.56%。

根据前一阵第十届我国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会的高峰论坛上，我国电子专用设备工业协会常务副秘书金存忠向大会讲的《中国半导体设备回顾与展望》来看，据中国电子专用设备工业协会对中国大陆59家半导体设备制造商的统计，去年我国半导体设备销售收入总额为385.97亿元人民币，同比增长58.9%，行业总利润达51.92亿元人民币。同比增长73.3%。我国半导体设备销售收入前十名，完成了295.33亿元人民币的销售，占59家半导体设备企业制造商收入总额的76.7%，与2020年中国半导体设备前十家企业完成销售收入相比增长了53.72%。前三名分别是下图几家。

北方华创、深圳捷佳伟创、浙江晶盛，对应的收入分别为75.8亿、48.82亿、以及46.14亿。处于第一位北方华创，增幅较大，同比增长72.8%。

另外，还提到今年半导体设备的国产化率将从2021年的20%提升到25%。

北方华创、中微公司领衔半导体设备

我们看，北方华创可谓是国产半导体设备佼佼者，大多数半导体设备都有布局。

图片来源北方华创官网

2020年时候电子工艺设备营收占比就超80%，设备厂商属性较强。另外电子元器件的19.2%，合计占比99.6%，其中电子工艺装备主要包括半导体设备、真空设备和锂电设备三大块，广泛应用于集成电路、半导体照明、功率器件、微机电系统、先进封装、新能源光伏、新型显示、真空电子、新材料、锂离子电池等领域，电子元器件主要包括电阻、电容、晶体器件、微波组件、模块电源等，广泛应用于精密仪器仪表、自动控制等高、精、尖特种行业领域。

即便是经历了芯片砍单的情况，好像也没影响半导体设备这一上游环节。北方华创去年半导体设备营收71.2亿元，同比增长71%，居中国大陆榜首。进步很快，去年北方华创300mm立式低温退火炉以及其它企业的等20项半导体设备创新产品进入产业化。是半导体设备领域的一大跨步。

今年上半年，北方华创的电子工艺装备及电子元器件业务进展良好，销售收入及归属于上市公司股东的净利润均实现同比增长。从主营业务来看，北方华创半导体业务覆盖了刻蚀、沉积、清洗等主要半导体制造设备，电子工艺装备和电子元器件业务营收分别占约82.1%和17.7%，毛利率分别为33%和69%。

得益于技术领先，北方华创的存货从2019年的36.36亿增长到2020年的49.33亿，共增加了13亿左右，但从2020年的49.33亿增长到2021年的80.35亿，共增加了31亿左右。今年三季报存货达到115.74亿，比年初增长44.06%。同时合同负债从2020年的30.48亿增长到2021年的50.46亿，共增加了20亿，今年3季度合同负债达到65.12亿元。这些数据能够说明公司订单量不断大增，同时公司也具备大量供货的能力，所以2022年业绩应该还是高增长。

从上面的内容里，还提到中微公司、屹唐股份、盛美上海等等，也都是很突出，相比北方华创等公司大多以ICP电感性低能等离子体刻蚀设备为主。中微公司主要的产品CCP电容性高能等离子体刻蚀设备。CCP是介质刻蚀所需要设备，CIP是金属及硅刻蚀所需设备。

2022年半年报中，中微的CCP 电容性高能等离子体刻蚀设备，在一些主要客户的生产线上已达30%甚至更高的市场占有率。应用于台积电5nm晶圆生产线的就是中微公司CCP产品。

市面上ICP占据市场份额更大一些，中微公司也从CCP拓展到ICP。三年前中微公司ICP产品正式进入市场，目前年销售额保持100%的增速。中微公司CCP 刻蚀设备上半年收入8.86亿元，同比增长13.98%；ICP 刻蚀设备上半年收入4.13亿元，同比增长414.08%。在国内做刻蚀设备的企业里有不小的地位。

至于业绩，自然也不差，今年上半年，中微公司2022年上半年营收19.72亿元，同比增长47.3%，毛利率46%。其中，来自刻蚀设备的总收入占到总营收比重的65.87%。之前中微公司盈利里有些是政府补贴，但今年上半年，中微公司政府补贴减少2亿元，同时持有中芯国际和天岳先进股价在上半年下跌带来非经常性损益减少。在这样的情况下，中微公司上半年净利润保持在4.68亿元，相比去年同期增长17.94%。上半年其扣非净利润同比增长6倍。

最后

这里，我们就不过多的介北方华创、中微公司，等着再详细说说北方华创、中微公司等其他半导体企业核心技术、市场价值。

还是回到半导体行业，无论最新拟投资总规模1430亿美元（折合人民币10046亿元）扶持国内芯片企业消息真假。国产替代以及做强逻辑的自主可控产业链一直存在，自主可控的紧迫性越来越强，尽管国内有北方华创、中微公司等在跟进，可不同工艺、不同节点、不同产品，同类设备差别也很巨大。刻蚀对象可以分刻金属，刻介质，刻晶硅等，工作模式还分电感耦合（ICP），电容耦合（CCP），反应离子（RIE），电子回旋（ECR）。设备名称都差不多，可设备的工艺细节完全不一样。国产化率在成熟的12英寸90-28纳米能做到30%甚至40%，但是14nm以下先进工艺节点寥寥无几，半导体设备上仍有很多东西需要补足。

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