设备 | 中微中标华虹无锡12台刻蚀机设备

近日，中国招标头条公公服务平台发布等离子体介质刻蚀机中标结果公告显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）中标华虹半导体（无锡）有限公司（以下简称“华虹无锡”）12台刻蚀机。

图片来源全国招标投标公共服务平台公告

息显示，中微公司本次中标的12台刻蚀机设备包括3台钝化膜等离子体刻蚀机、7台氧化膜等离子体刻蚀机、2台氮化硅等离子体刻蚀机。

中微公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售，是国内高端微观加工设备的知名企业之一。产品主要包括CCP刻蚀设备、ICP刻蚀设备、MOCVD设备等。

近年来，中微公司在刻蚀设备、MOCVD设备等设备产品研发、市场布局、新业务投资拓展等诸多方面取得了较大的突破和进展。

年报显示，2021年中微公司营业收入达31.08亿元，同比增长36.7%，归母净利润达10.11亿元，同比增长105.5%，其中，刻蚀设备收入为20.04亿元，较2020年增长约55.44%，MOCVD设备收入为5.03亿元，较2020年增长约1.53%。

产品进展方面，2021年，中微公司新签订单金额达41.3亿元，同比增长90.5%，产品付运腔体数由2020年的295腔增至491腔，其中CCP刻蚀机付运298腔，同比增长40%；ICP刻蚀机付运134腔，同比增长235%。

至于MOCVD设备，年报显示，2021年6月，中微公司正式发布用于高性能Mini LED量产的MOCVD设备Prismo UniMax，半年内已收到来自国内多家领先客户的批量订单合计超过100腔。

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