文森特_颜高
镀膜设备主要涉及 PVD、PRD、ALD 三种，PVD 技术又分为真空蒸镀法、溅射法和离子镀法。背电极 主要使用蒸镀 PVD，目前已经比较成熟，还可使用 PRD 等离子反应设备制作。电子传输层主流使用 RPD 设备，或先用 RPD 或 ALD 设备制作阻隔层，再用溅射 PVD 做传输层。空穴传输层主流使用溅射 PVD，也可使用蒸镀 PVD；玻璃基板衬底使用溅射 PVD 形成导电层，技术较为成熟。生产百 MW 级 钙钛矿需要镀膜设备 3 台，其中包括 2 台 PVD，单价 1000 万/台；1 台 PRD，单价 2000 万/台。
相应的设备企业有捷佳伟创、迈为股份、京山轻机、众能光电、晟成光伏等。其中捷佳伟创于 2022 年 7 月量产钙钛矿太阳能电池生产关键量产设备 RPD，并顺利出货了 GW 级 HJT 电池产线设备。晟成光 伏于 2021 年 5 月与业内钙钛矿电池领先企业开展开发战略合作，目前公司研发的钙钛矿电池团簇型多 腔式蒸镀设备现已量产，并成功应用于多个客户端
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文森特_颜高
镀膜设备主要涉及PVD、PRD、ALD三种，PVD
镀膜设备主要涉及 PVD、PRD、ALD 三种，PVD 技术又分为真空蒸镀法、溅射法和离子镀法。背电极 主要使用蒸镀 PVD，目前已经比较成熟，还可使用 PRD 等离子反应设备制作。电子传输层主流使用 RPD 设备，或先用 RPD 或 ALD 设备制作阻隔层，再用溅射 PVD 做传输层。空穴传输层主流使用溅射 PVD，也可使用蒸镀 PVD；玻璃基板衬底使用溅射 PVD 形成导电层，技术较为成熟。生产百 MW 级 钙钛矿需要镀膜设备 3 台，其中包括 2 台 PVD，单价 1000 万/台；1 台 PRD，单价 2000 万/台。
相应的设备企业有捷佳伟创、迈为股份、京山轻机、众能光电、晟成光伏等。其中捷佳伟创于 2022 年 7 月量产钙钛矿太阳能电池生产关键量产设备 RPD，并顺利出货了 GW 级 HJT 电池产线设备。晟成光 伏于 2021 年 5 月与业内钙钛矿电池领先企业开展开发战略合作，目前公司研发的钙钛矿电池团簇型多 腔式蒸镀设备现已量产，并成功应用于多个客户端
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