2023.4.8全市场最全光刻机零部件上市公司

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1.芯源微产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)。

2.茂莱光学公司是国产光刻机设备龙头上海微电子供应商

3,炬光科技公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器（招股书中“光场匀化器——光刻应用”），供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。同时，公司与国内在这一领域的研发单位有广泛合作，公司的光场匀化器产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。

4.富创精密公司已全球光刻机阿斯麦供应链体系

5.华特气体公司的光刻气产品包括A/F/Ne、G/e、 Ar/Ne和K/任F/Ne混合气等，4种光刻气均为国内唯一供应商﹐通过全球最大的光刻机公司ASML产品认证。

6.碁微微装公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务,主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务。

7.新莱应材光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

8.菲利华国内唯一一家通过国际三大半导体原产设备商认证的石英材料企业

9.容大感光公司的光刻胶产品主要包括紫外线正胶、紫外线负胶两大类产品以及稀释剂、显影液、剥离液等配套化学品，主要应用于平板显示、发光二极管及集成电路等领域。

10.南大光电公司自主研发的ArF光刻胶产品继2020年底在一家存储芯片制造企业的50nm闪存平台上通过认证后，2021年5月又在一家逻辑芯片制造企业55nm技术节点的产品上取得了认证突破，并且取得小批量订单，实现销售。

11.美埃科技公司长期为中芯国际供应 FFU、高效/超高效过滤器、化学过滤器等产品，用于保障中芯国际系的历代产品线（包括中芯国际最先进的 14nm和 28nm 制程）对空气洁净

12.大族激光公司生产的接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划，并加大研发核心部件国产化。

13.福晶科技前期曾通过欧洲代理向ASML销售少量光学元件，目前份额不大。

14.奥普光电公司大股东长春光机所正在研发更高水平的光刻机曝光系统。

15.晶方科技晶方光电控股的荷兰ANTERYON公司是一家全球领先的微型光学镜头设计服务和制造公司，客户涵盖半导体，手机，汽车，安防，工业自动化等市场领域的知名品牌客户，ASML是其服务的客户之一。

16.清溢光电光刻工序是决定掩膜版质量的最重要的环节，光刻机是光刻技术的集中载体。司将这些技术成功运用在3.5-5.5代Touch Panel大尺寸掩膜版，5-8.5代a-Si TFT LCD用掩膜版，4.5-6代AMOLED/LTPS用掩膜版的等各种产品制造技术上，并能够根据不同客户的订单需求进行定制化配置。经过多年技术沉淀，公司还是目前全球范围内少有的能够使用海德堡光刻机量产4.5-8.5代TFT CF和Array用掩膜版厂商。

17.晶瑞电材公司紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分g线等高端产品已规模供应市场数十年，i线光刻胶近年已向中芯国际等企业供货，高端KrF（248）光刻胶完成中试。公司承担并完成了国家重大科技项目02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目，拥有达到国际先进水平的光刻胶生产线，实行符合现代电子化学品要求的净化管理，拥有国家02专项资助的一流光刻胶研发和评价实验室。

18.汉钟精机公司真空热泵可用于极紫外光刻，且积极的推进该行业使用

19.苏大维格公司是国内领先的微纳结构产品制造和技术服务商，通过自主研发微纳光学关键制造设备——光刻机，建立了微纳光学研发与生产制造的基础技术平台体系，为客户提供不同用途微纳光学产品的设计、开发与制造服务。公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备，公司光刻机从设计、组装以及所用软件的开发，均由本公司自主完成，主要用于柔性电子、MEMS以及半导体上游器件等产品的研发与制造。其在满足自身需求的基础上，同时也已逐步面向国内外高校和研究所销售；2018年，公司精密光刻设备分别交付安徽大学、湖南大学、中科院病毒所等知名高校与研究所，进一步加大了公司在激光微纳加工领域的影响力。

20.赛微电子公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。

21.张江高科持有上海微电子装备集团公司10%股权，他是国内唯一家研发生产以及销售高端光刻机的企业也是全球第四家，生产IC前道光刻机的企业在先进封装光刻机等领域

22.京华激光公司控股公司美国菲涅尔制版科技公司有光刻机的研发与销售。

23.蓝英装备公司瑞士子公司UCM AG主要为光学和精密仪器行业提供清洗设备。对于精密光学、医学工程、精密机械以及PVD、CVD 涂层前清洗等典型的清洁度要求最高的应用领域，公司在精密清洗业务板块的代表产品UCM系统可提供全套个性化的设备及解决方案。凭借行业领先的技术实力，UCM AG为ASML（荷兰光刻机制造商阿斯麦公司）及其供应商提供极紫外光刻机（EUV）的光学系统相关关键部件的清洗设备。

24.安泰科技公司的钨合金产品用于某型号光刻机设备，是该型号光刻机的关键核心部件，尚属于市场开发阶段。

25.英唐智控公司拟收购的日本芯片半导体光刻机先锋微电子股权交割时间预计不晚于2020年7月1日，先锋微技术专注于光盘设备和图像处理，模拟IC和数字IC产品的研发生产，经过多年的发展，已形成了包含光电集成电路，光学传感器，显示屏驱动IC，英唐微技术所拥有的5台光刻机，是其为满足自身业务开展的需要于早期对外购置的日本尼康设备，其0.35μm制程的技术指标满足英唐微技术现有或规划产品的需要，英唐微技术本身也不涉及光刻机设备的研发制造业务。公司开发的碳化硅器件产品大规模商业化何时启动及市场需求大小，产线改造完成时间尚存在不确定性。

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