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明确KRF和ARF已研发完成，并全部获得国家专利授

作者：喆尚霓
2023-04-04 21:32:11
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明确KRF和ARF已研发完成，并全部获得国家专利授权认证。其中，需要注意KRF光刻胶有厚膜和薄膜等区分，上海新阳的“KRF厚膜光刻胶”发明专利(国内目前唯一获得专利授权的KRF厚胶)，这个就是长江存储128层3D闪存需要的KRF厚膜光刻胶，也是本次传日本断供的主要产品，目前长存该产品由上海新阳供货，从2021年起就形成连续稳定销售。此外，中芯国际选择与上海新阳合作共建arf光刻胶专用验证产线，上海新阳在2021年购买了一台光刻机放到中芯国际创新中心进行ARF光刻胶认证，由中芯团队负责测试，共同加快ARF光刻胶研发调试，这种合作模式目前是国内唯一一家。公司公告明确其arf光刻胶可全覆盖90-7nm制程。目前，光刻胶哪一家逻辑比较硬，比较正宗啊？晶瑞电材，南大光电，容大感光，上海新阳？

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