路维光电已实现250nm制程节点半导体掩膜版量产

《科创板日报》9月28日消息，深圳市路维光电股份有限公司披露调研纪要显示，目前公司已实现250nm制程节点半导体掩膜版的量产。近年，公司主要客户有京东方、华星光电、天马、利等，半导体掩膜版主要客户有士兰微、晶方科技、华天科技、通富微电、三安光电、光迅科技等。公司G11掩膜版产品相关技术指标已达国际先进水平，CD精度可控制在±0.1µm以内，总长及位置精度可控制在±0.5µm以内。

公开资料显示，深圳市路维光电股份有限公司成立于2012年, 路维光电成员，是高科技、高附加值、高技术密集型国家级高新技术企业，总部位于深圳市南山区科技园。公司成立至今一直专注于各类掩膜产品的研发生产，在中国掩膜版行业拥有多年的技术与经验，是国内唯一一家可覆盖G2.5-G11全世代产线的本土掩膜版企业。

该公司自成立至今，一直致力于各类掩膜版的研发、生产和销售，产品主要用于平板显示、半导体、触控和电路板等行业，是下游微电子制造过程中转移图形的基准和蓝本。经过多年技术积累和自主创新，公司具有G2.5-G11全世代掩膜版生产线，可配套平板显示厂商所有世代产线；实现了250nm制程节点半导体掩膜版量产，并掌握了180nm/150nm节点半导体掩版制造核心技术，满足先进半导体芯片封装和器件等应用需求。

智慧芽数据显示，深圳市路维光电股份有限公司及其关联公司累计申请专利超过110件，其中发明专利近40件，占比超过32%。通过进一步分析其专利技术数据可知，该公司在掩膜版、涂胶机、光学膜、光刻胶等领域拥有丰富专利布局。