微导纳米-688147-点评报告首台半导体CVD设备发货，拓展新产品成长性凸显

7月16日公司微公众号发布，首台半导体CVD薄膜沉积设备已顺利发货至客户端。

首台半导体CVD设备发货，解决关键工艺市场空白

继6月29日公司于SEMICON展会上发布PECVD和LPCVD两大系列产品后，仅半月时间，首台半导体CVD设备已顺利发货至客户端。公司CVD设备基于差异化策略开发，为市场亟需的CVD领域高端设备，可解决关键工艺的市场空白。公司CVD薄膜沉积设备适用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、非晶硅等不同种类薄膜，可应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域芯片制造。

半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期

受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域TOPCon等新型电池技术扩产，2023年以来公司半导体和光伏新签订单实现高增长。2023年初至4月24日，公司新增专用设备订单22.7亿元，其中新增半导体设备订单2.4亿元，新增光伏设备订单20.2亿元。6月以来，公司公告与浙江国康新能源、滁州亿晶光电分别签署4.4亿、3.86亿元（含税）TOPCon整线工艺合同。公司TOPCon电池工艺整线技术再次取得客户认可，市场份额有望不断提升。

半导体设备产品品类扩张+国产化率提升双驱动，订单弹性大

产品品类扩张公司立足ALD扩展CVD设备，国内市场空间从约50亿拓展至近300亿元。ALD设备方面，公司实现TALD、PEALD全覆盖，布局开发了多种沉积材料，已在逻辑、存储、化合物、新型显示获得订单，未来有望继续多点开花。CVD设备基于客户需求从硬掩模沉积设备切入，已发货至客户端。

国产化率提升荷兰最新半导体出口管制将ALD设备纳入范围，国产化需求迫切。荷兰先晶半导体ALD设备全球市占率45%，ALD是先进制程关键设备之一，2022年ALD设备国产化率＜2%，外部管制趋严国产化率有望加速提升。

光伏设备行业扩产及产品多元化驱动，新签订单迎来爆发式增长

2023年是国内光伏扩产大年，公司把握N型TOPCon扩产浪潮，凭借ALD设备技术优势及TOPCon整线工艺，市占率逐步提升，迎来订单爆发式增长。

公司持续丰富光伏产品线，成熟产品包括ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种设备，可提供TOCon整线解决方案。同时公司积极布局研发新型电池技术，xBC、钙钛矿叠层电池有望接力发展。

盈利预测预计2023-2025年公司实现营收为14.0、23.5、35.4亿元，归母净利润1.01、2.17、4.09亿元，对应PE为239、111、59倍。维持“增持”评级。

风险提示新产品验证进度不及预期的风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险。