【芯事记】8月半导体设备招投标国产刻蚀设备增量明显

集微网消息，据集微网不完全统计，2022年8月，上海积塔、华虹宏力、华力微电子、杭州积海半导体、西安奕斯伟、新微半导体等企业合计招标829台设备，杭州积海半导体和上海积塔贡献主要增量。其中，杭州积海半导体新增设备招标631台，上海积塔新增设备招标127台。

在半导体行业中，晶圆制造主要包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、工艺检测、离子注入、清洗等流程。按照不同工艺设备招标数量，分别为光刻设备1台，刻蚀设备3台，薄膜沉积1台，工艺检测39台，CMP 3台，热处理2台，清洗设备10台。

设备中标方面，据集微网不完全统计，2022年8月，北方华创、华海清科、嘉芯半导体、芯源微、应用材料、东京电子、KLA等企业合计中标978台设备。按照不同工艺设备中标数量，分别为刻蚀设备23台，薄膜沉积30台，工艺检测110台，离子注入3台，CMP 24台，热处理7台，清洗设备34台，涂胶显影3台。

国内设备厂商合计中标329台设备。其中，北方华创共中标7台设备，嘉芯半导体共中标8台设备，华海清科共中标3台设备，广立微电子共中标3台设备，精测半导体共中标2台设备，上海利芯共中标2台设备，芯源微共中标1台设备。

国外设备厂商合计中标649台设备。其中，应用材料共中标60台设备，东京电子共中标15台设备，KLA共中标51台设备。

值得一提的是，在刻蚀环节，国产设备占比高于国外设备，主要得益于北方华创、嘉芯半导体、上海利芯的放量。其中，北方华创中标6台设备，包括电感耦合等离子体刻蚀机、高密度等离子体刻蚀机等；嘉芯半导体中标10台设备，涉及金属等离子刻蚀机、氮化硅等离子刻蚀机等。（校对/姜羽桐）