盛美上海已获美国半导体第一梯队企业采购两台设备

集微网消息（文/张林）2月11日，盛美上海在接受机构调研时表示，对于国际客户的开拓情况，美国半导体第一梯队企业采购了我们的两台设备，我们将会用这个契机，开拓中国台湾地区、新加坡、韩国、欧洲等其他地区的市场。去年我们拿到了几个中国大陆以外客户的订单，我们希望今年拿到更多国际客户的订单。

清洗设备方面，当前主流的技术只能做到干燥，无法完全清洗干净3D结构中的颗粒及污染。盛美上海推出的CO2和IPA两种干燥技术希望将超临界与TEBO兆声波无损伤清洗技术组合后推向DRAM和逻辑器件应用的国内外市场，与市场现有技术形成差异化，同时做到清洗和干燥，从而打开国内外市场。

在平台化战略上，盛美上海称现在平台化主要产品为清洗设备、镀铜设备、炉管、先进封装湿法设备系列及在开发中的两款新设备。而这些产品的优势也体现在技术方面，因为清洗设备方面有一些国内外公司没有的产品，也有国内外有的产品。同时，盛美上海的硬件与软件是可以根据客户的需要进行修改的，研发团队在服务、技术交流方面比国外厂商有很大优势，产品可靠性较强。盛美上海称，公司以技术、服务为竞争基础，公司主要产品价格与市场主流价格基本保持一致。开发新产品的时候我们一直强调聚焦差异化，通过差异化开发市场，获取市场地位。国际厂商Lam的平台化做得很好，是我们学习的榜样。

据悉，干法设备由上海及韩国团队联合开发。干法、湿法设备对于软件、硬件系统的稳定性需求都较高，盛美上海在清洗设备上多年的技术积累可以满足这两方面的严格需求。LPCVD（氧化硅、氮化硅、掺杂多晶硅及非掺杂多晶硅）,高真空回火及高温氧化炉去年基本已经完成布局，以上设备部分已经在通过客户端生产验证，部分还在生产验证中。

而对于电镀设备是否能和清洗设备形成协同效应时，盛美上海表示，公司在国内销售时，主要是在清洗设备获得客户认可后，带动电镀设备。而在国际市场，从事清洗设备生产的厂商较多，生产电镀设备（前道）的厂商较少，公司的电镀设备在国际市场上吸引力也很大，将通过电镀设备与清洗设备并行，同时进行客户的拓展。

（校对/Andy）