2家国产半导体设备厂宣布产品验收、项目封顶

近期，2家国产半导体设备厂商——拓荆科技和苏州优晶科技都有新消息传来。

苏州优晶科技碳化硅（SiC）长晶设备通过验收

4月29日， 苏州优晶科技宣布，公司最新出口至某国际知名客户的大尺寸电阻法长晶设备已顺利通过验收。

source苏州优晶科技

苏州优晶科技表示，此次出口的SiC电阻法长晶设备，是优晶科技根据市场需求研发的第四代产品。该设备达到了客户的验收标准，既是对公司产品的认可，也为公司未来国际市场的拓展奠定了坚实的基础。

公开资料显示，苏州优晶半导体科技股份有限公司是一家专注于大尺寸（6英寸及以上）导电型SiC晶体生长设备研发、生产及销售的企业。公司于2019年成功研制出6英寸电阻法SiC单晶生长设备，目前已推出至第四代机型——UKING ERH SiC RV4.0电阻法SiC长晶设备，可用于6英寸、8英寸量产。

拓荆科技半导体先进工艺装备研发与产业化项目结构封顶

近日，拓荆科技（上海）半导体先进工艺装备研发与产业化项目主体钢结构全面完工，顺利封顶。

source上海临港

据介绍，该项目计划总投资9.3亿元，建筑面积约10万㎡，用于开发先进的ALD薄膜工艺技术及高产能设备平台，并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化。

公开资料显示，拓荆科技（上海）有限公司（以下简称“拓荆科技”）成立于2020年12月，是拓荆科技股份有限公司在临港设立的全资子公司。拓荆科技主要从事高端集成电路薄膜装备的研发、生产与销售，聚焦半导体薄膜沉积设备，是国内专用量产型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD设备领军企业。

文集邦化合物半导体Morty整理