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龙腾光电获得发明专利授权“金属氧化物半导体薄膜晶体管阵列基板及其制作方法、显示装置”

作者：Kevinmeng888
2024-05-01 03:13:35
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证券之星消息，根据企查查数据显示龙腾光电（688055）新获得一项发明专利授权，专利名为“金属氧化物半导体薄膜晶体管阵列基板及其制作方法、显示装置”，专利申请号为CN202210707441.X，授权日为2024年4月30日。

专利摘要本发明提供一种金属氧化物半导体薄膜晶体管阵列基板的制作方法，利用第一道黄光制程形成栅极和第一导线；利用第二道黄光制程形成源极、漏极和沟道区；利用第三道黄光制程形成半导体层和蚀刻遮挡层；利用第四道黄光制程形成第一过孔和第二过孔；利用第五道黄光制程形成公共电极；利用第六道黄光制程形成第一贯通孔和第二贯通孔，第一贯通孔贯通绝缘保护层和钝化层，第二贯通孔贯通保护层、钝化层、蚀刻遮挡层和第一绝缘材料层；利用第七道黄光制程形成像素电极和第二导线，像素电极与漏极接触连接，第二导线与第一导线接触连接。本发明的制作方法制程简单，且能提高产品良率。本发明还涉及一种金属氧化物半导体薄膜晶体管阵列基板和显示装置。

今年以来龙腾光电新获得专利授权76个，较去年同期减少了1.3%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.2亿元，同比增14.47%。

数据来源企查查

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