电子行业半导体设备月度跟踪（2022 年5月）招标数据再创佳绩，高成长性带来高确定性

　设备板块驱动力透过情绪，回归基本面。半导体设备板块2021年Q4以来深度回调，部分龙头个股最高跌幅达50%以上，但与之相反的是靓丽的业绩，1Q22板块总营收YOY +39%，增速位居电子各细分板块之首。所以本轮设备板块下跌无关乎基本面，本质是市场情绪弱化后，PS估值缺乏安全垫所致。而当下伴随疫情受控，需求复苏，整体半导体板块情绪回暖，设备板块估值亦有率先拔升的机遇。支撑设备公司业绩高速增长的是国内各大产线的全面国产化，2022年Q2以来，除了龙头公司，诸多二三线晶圆厂均启动了设备招标，国产设备中标数据亮眼。

  招标跟踪疫情扰动，不改国产化大势。

  5月招标数据再创佳绩，共计录得128台晶圆制造设备招标完成，较4月环比增长21%，主要来自华虹无锡12寸产线和积塔特色工艺产线项目的扩产。2022年1-5月，统计范围内的晶圆厂共计完成设备招标604台，力度可观。

  国产化率方面，在我们统计范围内，晶圆厂2022年以来完成的设备招标中，国产设备占比约33%。其中，涂胶显影设备、干法设备、CMP设备国产化率相对较高。

  新增招标方面，2022年5月新增设备招标248台，包括华虹无锡、积塔、华润微（重庆）、福建晋华、燕东微等晶圆厂。此外，中芯国际临港项目一期已在厂房建设中，发布了多项施工招标，扩产有序推进。

  国产设备厂商中标情况

  1）北方华创14台，包括薄膜/湿法/干法刻蚀/炉管；2）中微1台，为干法刻蚀设备；3）拓荆科技11台，均为薄膜设备；4）华海清科7台，均为CMP设备；5）芯源微17台，包括涂胶显影/湿法设备；6）屹唐2台，包括炉管/干法去胶设备。

  展望国产设备突破周期的成长性。据Gartner预测，2022年全球半导体资本开支达将到1853亿美元的新高，同比增长22%的同时亦呈现增速趋缓。但我们认为国内市场的高成长性有望使其不受全球半导体周期影响。展望中长期，一方面我们看到华虹、晶合、积塔等本土晶圆厂相继推出融资计划，未来资本开支有望继续维持高位；另一方面，国产化率亦有望加速上行。截至2022年Q1，A股设备板块上市公司营收连续7个季度维持40-60%左右同比增长，远超市场规模总体增速，进口替代的突破趋势已然形成。

  投资建议建议关注设备龙头北方华创、拓荆科技-U、芯源微、中微公司、万业企业、盛美上海、至纯科技、华海清科（拟上市）；零部件龙头江丰电子、富创精密（拟上市）

  风险提示半导体行业下游需求不及预期、晶圆厂扩产进度不及预期、设备研发进展不及预期。