注册返回主站

汇成真空公司一直致力于研发新设备、拓展新领域，公司专利情况已在招股书中披露

作者：我不要面子啊
2024-07-05 18:29:59
分享：

证券之星消息，汇成真空(301392)07月05日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者董秘你好，公司设备模块化设计，可结合等离子清洗（Plasma-clean）单元，磁控溅射（SPT）单元，等离子增强化学反应（PECVD）单元，原子层沉积（ALD）单元，以及等离子化学反应刻蚀（RIE）单元，拓展成簇式微纳加工中心，涵盖半导体微纳结构加工的基材清洗、薄膜沉积（含超薄薄膜）和图案化刻蚀整套工序。请问刻蚀设备跟清洗设备公司有这方面技术积累吗？

汇成真空董秘公司已掌握真空腔体及真空系统设计技术、真空环境机械装置设计技术、温控系统设计技术、电弧蒸发源设计技术、磁控溅射靶设计技术、弧光电子束增强离子清洗装置技术、卷对卷真空镀膜设备设计技术、真空连续生产线设计技术等核心技术，公司将继续加强技术积累，提升研发水平，感谢关注。

投资者董秘您好，请问贵公司的簇式微纳加工中心是国内首创吗，是否申请专利?

汇成真空董秘公司一直致力于研发新设备、拓展新领域，公司专利情况已在招股书中披露，感谢关注。

以上内容由证券之星根据公开息整理，由算法生成（网算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。

温馨提醒：用户在赢家聊吧发表的所有资料、言论等仅代表个人观点，与本网站立场无关，不对您构成任何投资建议。本文中出现任何联系方式与本站无关，谨防个人信息，财产资金安全。