一期大基金已经投资刻蚀机领域三家公司中微半导体（M

一期大基金已经投资刻蚀机领域三家公司

中微半导体（MOCVD与刻蚀设备）

北方华创（综合性半导体设备厂商）

万业企业（离子注入机）

1万业企业

这三家设备公司其中研发滞后的可能就是万业企业了，该公司此前主营业务是房地产，转型搞离子注入机，呵呵！呵呵呵呵...............中国无人吗？

所以这样的公司就是此前华芯投资管理有限责任公司总裁路军说的【那些利用非正常手段进行竞争的项目】，我想指的就是这个公司吧。还是仔细研究公司的离子注入机进展吧，如果没有进展就要删除掉。

万业企业第一大股东是【上海浦东科技投资有限公司】持股28.16%，是国有独资的公司，也就是纯国资背景。

2017 年万业企业认购上海半导体装备材料产业投资基金，2018 年收购凯世通，到与中科院微电子所拟共同牵头发起设立集成电路装备集团，公司已完成了转型前期的布局工作，进入正式操作实施阶段，全面向集成电路装备与材料转型。2018 年12 月起，国家集成电路大基金开始持有万业企业7%的股份。万业企业认购的上海半导体装备材料产业投资基金合伙人中也包括国家大基金出资了19.8%。

公司于2018年12 月完成对离子注入机标的凯世通的收购工作，交易金额接近4 亿元，2018 年8 月认购首期上海半导体装备材料产业基金20%份额、2019 年6月拟与中科院微电子所、芯鑫租赁等共同组建集成电路装备集团。

离子注入机 来源中电集团第48所官网

离子注入机是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。

凯世通离子注入机，来源凯世通官网

上海凯世通半导体股份有限公司，2009年4月在张江成立，由中组部“千人计划”入选获得者及国家特聘专家——陈炯博士为首的五位世界一流离子注入设备专家创立。该团队所开发的离子注入机全球销售逾千台。

小结一下万业企业转型依托于陈炯博士团队的离子注入机，同时公司明确了方向，另外陈博士团队成熟。按照此前1期大基金投资某一类设备或者行业，总是要同时投入2至3家，因此2期基金一方面可能会加大万业企业的投资规模，另一方面中电集团48所的那一款离子注入机进入了中电科电子装备集团有限公司，这是北京的公司。有复杂，就是两台离子注入机上海和北京各一台。呵呵.....北方华创（北京丰台，有扯）！

2北方华创也是1期大基金投入的公司，目测应该2期会继续投入或者自己募集。

2019年12月6日，北方华创非公开发行新增股份在深圳证券交易所上市，标志着北方华创20亿元再融资项目顺利完成。通过募投项目建设，公司将进一步加快14纳米集成电路设备的验证与产业化以及7/5纳米设备的核心技术研发，大大增强先进集成电路工艺装备竞争能力；同时也将提升先进精密元器件的生产能力，有效增强公司的持续盈利能力。

公司半导体产品覆盖广泛，体系丰富，可以说除了光刻设备外，基本上覆盖了整个半导体制造关键环节工艺的设备。公司作为国产半导体设备布局最为全面的公司，将在这一轮晶圆厂产能扩张的热潮中迎来订单爆发的良机。

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3中微半导体

一句狠话主营业务生产半导体设备。

12月8日，在首届临港新片区投资论坛上，公司董事长尹志尧博士表示，“目前台积电还是在按摩尔定律的发展走，3纳米已经进入研发一年多了，估计到2021年初3纳米就要进入试生产。中微也一直跟着这个路线走，现在做到5纳米。”

据第一财经报道，目前中微半导体的刻蚀机已经顺利通过台积电5纳米工艺的验证，并且拿到4道制程，创造了中国半导体设备的又一个里程碑。

在等离子体刻蚀机上已经有61%的国产化;MOCVD已经做到80%国产化，其中包括震动机械手臂都是用的国产机械手臂，美国采购的材料已经降到5%。

三从长江存储招标中微半导体和北方华创的机会

截止11 月，长江存储一共开启了30 批的设备招标

长江存储 1-30 批招标合计开标了近 2000 台核心设备，对历史中标数据的计算发现

1在刻蚀、PVD、清洗机、氧化/退火、CMP 设备领域，国产厂商实现了较大突破，国产化率分别达到了 17.68%、21.43%、25.76%、41.03%、14.71%，2在 CVD、过程控制设备领域实现了较小突破，国产化率分别为 1.81%、2.79%；3但在光刻机、晶圆测试机、探针台领域，国产厂商尚未实现中标。

从长江存储招标半导体设备国产化加速，大陆产线陆续进入设备采购高峰期。除了长江 存储项目，未来两年大陆进入投产或处在产能爬坡的存储 器/晶圆厂产线近 20 条，预示着本土半导体设备企业迎来加速获取订单的重要时期。

从上表中可以出，长江存储大规模招标从 2017 年 Q4 开始，第 13/14/15 批次的核心设备招标数量超过 300 台，国产设备中标高峰出现在2019 年 Q1；2019 年以前长江存储设备招标国产化率为 5.9%，2019 年以来设备国产化率提升到 6.7%，较之前有所提升。

全球产能中心逐步向中国大陆转移，国内外半导体制造企业纷纷加大对国内半导体生产线的投资，如英特尔、三星、SK 海力士、台积电等已陆续或计划在我国建设工厂或代工厂，不完全梳理，国内在建或拟建的 12 英寸晶圆厂达到 25 座。

北方华创和中微公司中标长江存储设备类别占比

刻蚀设备中微具备全球竞争力，北方华创实现突破.

中微公司在集成电路介质刻蚀和硅刻蚀设备领域已具备全球竞争力，是国内 IC 制造设备进口替代的领导者。

长江存储合计开标了198 台刻蚀机，中微公司中标 29 台（2019年前16台，2019年13台），占比 14.65%，排名第二，但与排名一的拉姆研究 57.58%的占比仍有较大差距，后续有望持续提升份额。

北方华创在16批次首次中标 1 台多晶硅等离子蚀刻设备，2019 年再次中标 5 台硅槽刻蚀设备，加速趋势明显。

清洗设备盛美半导体竞争力突出，北方华创实现中标

清洗设备的供应商较为分散，主要包括日本厂商 Screen、东京电子，美国厂商拉姆研究，国内厂商盛美半导体、北方华创、至纯科技等。长江存储合计开标 66 台清洗机，其中盛美中标 12 台，占比 17.6%，竞争力突出，北方华创仅实现 2 台槽式控挡片清洗订单。

氧化/退火设备北方华创优势明显，Mattson RTP 设备具备全球竞争力。

北方华创的立式炉、卧式炉设备处于国内半导体设备的领先水平，具备较强的竞争力。

长江存储合计开标 78 台氧化/退火设备，其中北方华创氧化设备和退火设备分别中标 15、17 台，占比达到了 65.2%、30.9%，优势十分明显。另外 Mattson 也中标 1 台退火设备，实际上 Mattson 在 RTP 设备领域排名世界前三，其主要客户同样是位列全球前三的芯片制造厂商。

薄膜设备北方华创、沈阳拓荆实现中标，ALD 尚未中标

长江存储合计开标 CVD、PVD 和 ALD 分为 221、14 和 109 台。当前仅北方华创和沈阳拓荆在薄膜设备上实现中标，其中北方华创中标 3 台 PVD，沈阳拓荆中标 4 台 CVD，中标占比分别为 21.4%和 1.8%，北方华创铜互连 PVD 正在多家客户生产线验证，后续有望成为新的。

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