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20210902 《至纯科技 2020 半导体高纯工艺系统/湿法清洗设备》

作者：小利赢天下
2021-09-02 22:25:54
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主营业务

公司（至纯洁净系统）主要产品包括高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光传感应用及相关光学元器件。

1、高纯工艺系统

泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt 级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放。

在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中，各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。

高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。

高纯工艺系统的产品主要包括气体高纯工艺设备及系统、化学品高纯工艺设备及系统、研磨液供应及回收系统、前驱体介质系统、大宗气体、半导体工艺尾气处理设备及系统、物料及水系统，广泛应用于集成电路、显示屏、光电、光伏及生物制药、食品饮料等领域。

2、半导体湿法清洗设备

设备主要应用于集成电路、微机电系统、平板显示等领域。

随着半导体芯片工艺技术的发展，工艺技术节点进入 28 纳米、14 纳米等更先进等级，随着工艺流程的延长且越趋复杂，每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过 200 道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性；清洗设备及工艺也必须推陈出新，使用新的物理和化学原理，在满足使用者的工艺需求条件下，兼顾降低晶圆清洗成本和环境保护。

公司湿法工艺设备所部署的技术路线提供槽式设备（槽数量按需配置）及单片机设备（8~12 反应腔）均可以提供 8~12 寸晶圆制造的湿法工艺设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品以及一些特殊工艺上，例如薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等。在技术储备上，公司将持续投入资源开发符合高阶工艺应用的设备（如多反应腔、18 腔等）。公司的湿法工艺设备的子系统包含药液循环系统、温控系统、传送系统、自动控制系统、通系统、传感控制系统、气体流场设计、反应药液回收环设计等。

3、光纤传感器及光电子元器件

公司全资子公司波汇科技主要从事光纤传感器及光电子元器件的研发、生产及销售，专注于光纤传感及光电子元器件技术研发并在分布式光纤振动监测、温度监测、光纤光栅传感、算法仿真、智能视频、真空镀膜技术以及应用软件开发方面具有核心技术。主要产品有光纤电网综合监测系统、光纤石化油库管道综合监控系统、光纤桥梁结构健康监测系统、光纤轨道交通综合监测系统、光电子元器件（滤光片、激光管帽、磁光开光、标准具）、激光气体传感监测系统。主要应用于电力电网、石油石化、城市地下综合管廊、数据及通等领域。

行业情况

1、高纯工艺系统

在应用领域上，高纯工艺系统的使用范围越来越广。不纯物控制技术最初应用在半导体行业。随着半导体制程工艺的广泛应用，现代制造业形成了一个泛半导体产业，即皆以半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如掺杂、光刻、刻蚀、CVD 成膜等均需使用相当多的高纯度气体和高纯度化学品，从而产生对高纯工艺系统的大量需求。

目前少数本土供应商的产品和服务已经顺利进入全球一线客户，竞争地位不断增强，正逐步实现进口替代，包括系统的替代、设备的替代、乃至元器件层的替代。行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，行业内呈现出高等级高纯工艺市场集中度较高、低等级市场较为分散的竞争格局，本土主流供应商的竞争地位将不断增强。

目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等等，是下游行业的领先者。

2、半导体湿法清洗设备

随着半导体芯片工艺技术节点进入 28 纳米、14 纳米等更先进等级，工艺流程的延长且越趋复杂，产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是先进制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的高效清洗更困难。解决的方法主要是增加清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过 200 道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。目前中国市场和国际市场范围内，主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主，国内目前有三家在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备，分别是至纯科技、北方华创和盛美，国内厂商的市场占比在逐年上升中。

目前至纯科技是国内能提供到 28 纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。目前公司湿法设备已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等等，均为所在下游行业的领先者。其中公司单片湿法设备获得国内重要用户的多个订单，高温硫酸、晶背清洗、后段去胶、长膜前单片机型入选，进一步填补国产装备在湿法清洗领域的空白。公司 12 寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆和中国大陆以外高端清洗设备市场；公司的湿法设备历经 IP 自主、供应链自主研发，在国内（启东）湿法设备制造基地制造，并有序展开扶持供应链的本地化。伴随自主研发的多个型号单片式清洗设备获得商用推进，公司的投资价值和潜力进一步凸显，业务潜力有望进一步释放。

3、光纤传感器及光电子元器件

近年来，在智慧城市、物联网、智能移动终端、智能制造、机器人、智能电网、石油石化、新能源等下游应用市场的推动下，中国光传感器市场快速成长，成为拉动全球光传感器市场增长的主要力量。光纤传感器为光传感领域下属细分子行业，以光纤传感技术为核心技术。光纤传感技术是一种以光纤中的导波原理为理论基础的新型传感技术，以光纤为媒介感知和探测外界被测号。我国息技术的迅猛发展以及物联网产业的兴起带动了光纤传感器行业的快速发展。

目前，光纤传感器的用途已非常广泛，电力电网、输油管道、城市地下综合管廊、轨道交通、隧道、大楼整体建筑等领域都可以通过铺设光纤与互联网连接起来，将监测息传给任意设定的终端进行远程监测与控制，使各类大型基础设施的安全状况可以获得连续不间断的监控，并提供预警息，从而构成一个大规模、高度可靠和低能耗的光联网基础感知神经网络，融入物联网技术发展的需求当中去，推动物联网产业的发展。

光通器件按照其物理形态的不同，可分为芯片、光有源器件、光无源器件、光模块与子系统四大类。在光通器件中，光模块为光电转换的核心设备，光模块由特定光器件封装而成。根据咨询机构 Ofweek 的数据，光器件为光模块重要构成部分，占光模块成本约为 73%。公司主要产品滤光片、激光管帽等为光器件重要构成部分，占光器件成本约 10%。

光电子元器件行业为光通领域上游行业。光电子元器件是利用电-光子转换效应制成的各种功能器件，是光电子技术的关键和核心部件。从光电子元器件的应用来看，主要应用领域如下①光通领域的光通器件（芯片、光模块、光器件等）、光纤光缆等光通器件；②显示领域的液晶显示面板、OLED 显示面板等光显示器件；③照明领域的 LED照明芯片、LED 照明模块、OLED 照明面板等光照明器件；④传感领域的图像传感器、光纤传感器、红外传感器、环境光传感器、激光传感器等光传感器件。

核心竞争力分析

通过 20 多年在行业内的深耕，公司在高纯工艺系统领域已经形成从研发、设计、制造到供应链的较强竞争优势，主要服务于一线集成电路用户，竞争对手也均为国际厂商；湿法装备领域，公司近年投入高强度资源进行自主研发，已经具备了湿法工艺全系列的设备，目前已经切入一线用户的高阶工艺（critical）应用，走过了知识产权自主和设备制造自主的阶段，正进入产能爬坡和供应链自主的发展阶段；对于 14nm 以及 7nm 工艺需求的进阶功能的研发，也都在有序进行中，预计 2022 年可以提供给客户验证；波汇科技积极向光电传感及光电子元件器的新兴下游产业链延伸。

至纯科技总部和研发中心位于上海，生产制造中心在启东、广州和平湖，服务中心在合肥，并在日本、韩国、台湾均设有研发设计子公司。公司形成了六大事业部分为至纯集成（BU1-高纯工艺系统）,至微科技（BU2-湿法设备及晶圆再生服务）,至一电子（BU3-电子材料及部件），珐成浩鑫（BU4-生物制药工艺系统），波汇科技（BU5-光传感与光器件）,驭航智能（BU6-工艺数字化）。