半导体设备零部件近况交流纪要20240606Q:为

半导体设备零部件近况交流纪要20240606

Q:为什么选择此时分享半导体设备硬件公司的最新情况？

A:我们选择在此时分享，主要基于两点考虑。首先，近期半导体国家三期基金的成立，预 示着半导体产业链国产化进程将进一步加速，这是一个不可逆转的趋势。这为国产半导体 设备及关键零部件的发展提供了强有力的政策支持和资金保障。其次，我们观察到自去年 至今年，我们关注的如射频电源、真空泵等关键部件，在设备制造端展现出了良好的增长 态势，显示出该领域的国产替代进程正在稳步前行。

Q:半导体零部件市场的现状如何？

A:半导体零部件市场空间巨大，细分领域众多。我们重点关注的几个核心零部件，包括射 频电源、真空泵、洁净室过滤器耗材以及气体供应介质等，各自市场规模大约在 50 亿到 70 亿之间，而目前的国产化率普遍低于 10% 。这意味着巨大的国产替代空间和市场机遇。

Q:推荐的公司及其产品具体是哪些？

A:我们推荐的几家公司及其主打产品包括英杰电气专注于射频电源，该产品主要用于刻 蚀和沉积设备， 占设备成本约 12% ，价值量占比约 8%；正帆科技在真空泵方面有所建树； 美埃科技则涉及洁净室耗材领域。这些公司在各自的细分市场中正积极进行国产替代。

Q:英杰电气在射频电源领域的进展如何？

A:英杰电气在射频电源领域取得了显著进展，尤其在国内市场。 目前，国内射频电源市场 规模估算约为 40 亿至 50 亿，但主要由 MKS 等海外供应商主导。英杰电气凭借其技术优 势， 已成为国产化替代的领头羊。 自 2022 年 9 月起，英杰电气已在国内刻蚀设备龙头企 业的机台上实现了量产，并在其他几款机台上实现了小批量生产，预计今年内将完成近十 个机台的样机全覆盖。2022 年，公司射频电源已进入批量供应阶段，订单量大幅增加，上 半年加速放量，全年订单规模有望实现大幅增长。

Q:PECVD 设备上的射频电源市场情况与英杰电气的参与程度？

A:在 PECVD 设备方面，虽然英杰电气与国内设备制造商的合作较刻蚀设备稍晚，但考虑到 PECVD 所需射频电源型号较少，验证难度较低，这为英杰电气提供了有利条件。公司已与 国内 PECVD 设备龙头展开了合作，预计未来随着合作深化和技术验证的推进，英杰电气在 PECVD 设备领域的市场份额也将逐步扩大，进一步巩固其在半导体核心零部件国产化替代 中的领先地位。

Q:公司在 PCVD 设备领域的市场表现如何？

A:公司已成功实现了 PCVD 龙头设备所有型号的全面覆盖，市场占有率预期不仅超越了先 前预估的低于 50% ，更有望达到或接近这一水平。此前，公司主要聚焦于少数型号的规模 化生产，而今年则实现了全型号覆盖，并在射频电源的升级方面加速推进国产化进程。此 外，公司与几家半导体头部设备制造商的送样合作进展顺利，预计在 2025 年和 2026 年 间，半导体射频电源的签约及业绩实现将快速增长。

Q:GasBox 在半导体干法设备中的作用是什么？

A:GasBox 主要用于干法设备中，其功能是将工艺气体集成在受控环境下，并根据工艺需求 进行气体的转换、分配和混合，对关键气体实现精准控制。它约占干法设备成本的 8%到

Q:中国大陆 GasBox 市场的现状如何？

A:目前，中国大陆 GasBox 市场规模估计超过 50 亿人民币，主要由海外企业如超科林和富 士金主导，国产化率不足 10% 。但随着公司加大对 GasBox 业务的投入，预计 2024 年国产 化率将提升至 30%或更高 。公司通过设立红格半导体布局该业务， 自 2022 年起已实现 GasBox 的全面稳定生产，其中 80%-90%的订单来自半导体行业，剩余部分来自光伏电池片 行业。

Q:公司在半导体行业的GasBox 业务进展如何？

A:公司的 GasBox 已广泛覆盖国内一线半导体设备商，并通过了验证，这些设备商持续下 单，表明公司产品已度过验证期，磨合效果良好，正进入加速放量阶段。未来将主要针对 设备新型号进行简化的验证工作。

Q:公司在光伏电池片行业的GasBox 应用情况？

A:公司的 GasBox 已向迈威股份等光伏电池片设备厂商批量供应，显示出在光伏领域的应用 潜力，预计 2024 年 GasBox 的签单增长将保持高速增长态势。

Q:干式真空泵在半导体设备中的重要性及市场状况？

A:干式真空泵是半导体制造的关键部件，广泛应用于拉晶、CVD 等多个环节，对性能、效 率、可靠性和稳定性要求极高。中国大陆和中国台湾地区的干式真空泵市场总规模约为 80 亿人民币，其中海外供应商如爱德华和伊巴拉占据约 90%市场份额，本土企业以汉中经济 和中科仪为代表。

Q:公司在真空泵市场的表现及发展趋势？

A:在光伏领域，公司真空泵市占率领先，拉晶端超过 70% ， 电池端的国产替代也在加速， 预计今年市占率可望达到 35%或更高。半导体领域，公司与中科仪在清洁制程工艺方面已 通过验证，逐步扩大销售，产品自去年起已进入小批量交付阶段，对于更严格的制程，测 试工作也在加速进行。去年，公司半导体真空泵收入超过 1 亿元，主要面向台湾地区的 Fab 厂，得益于设备更新换代的需求。随着技术成熟和市场拓展，公司未来在半导体真空 泵市场的份额有望进一步提升。

Q:中国大陆地区半导体真空泵市场的现状如何？

A:在中国大陆地区， 由于半导体产业起步相对较晚，真空泵的使用年限一般为严苛环境下 5 到 8 年，普通环境约 10 年。鉴于此，公司当前在中国大陆市场的真空泵业务主要集中在 增量市场。此外，相较于终端产品，设备商在推进国产替代方面更为积极。尽管去年公司 半导体真空泵的整体增速有限，但在测试端，尤其是在严苛制程的验证方面，进程已明显 加快。得益于这两年的加速验证和产能扩张，我们持保守态度预计，公司半导体真空泵将 在 2025 年底至 2026 年初迎来集中放量期。

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