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蚀刻机台零部件国产化的情况①射频系统和下电极。下

  • 作者:恶魔在呐喊
  • 2023-05-01 22:51:58
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蚀刻机台零部件国产化的情况
①射频系统和下电极。下电极的静电吸附盘,完全没有国产化,依靠韩国和日本;
射频部分,理论上可以做,但需要国产机台的验证,主流高端射频技术全部掌握在美国人手上,但华为委托武汉敏声研究成功,武汉敏声联合北京赛微电子己建立BAW生产线,己送货华为验证,华为一季度5G手机出货量大增40%可能与此有关,赛微电子6月份新BAW产线将量产,打破美国陇断,极既战略意义。
②压力机和气体流量。压力机消耗材料,SiC(碳化硅)技术比较落后,核心技术在美日韩,石英、陶瓷、metal o-ring(金属密封圈)、铝合金、工程塑胶这些材料国内既有原料又有加工能力,但还需要做成立项工程做验证。气体流量不乐观,将腐蚀性很强的气体流得准的技术还需要国产化的机台把零配件建构起来才行。
③阳极氧化(anodizing)的y形涂层(y-coating)。除了SiC国内都有技术制作,只差验证

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