机械类1.ESC静电吸盘特点承载晶圆尺寸逐步增大

机械类

1.ESC静电吸盘

特点承载晶圆尺寸逐步增大，温度均匀性需求也逐渐提高

国外企业Shinko(新光电气)、TOTO、NGK

国内企业君原电子、新纳陶瓷、华卓精科、海拓创新

2.边缘环

国产化率>10%

特点加工精度、耐腐蚀性、密封性等

国外企业Tokai Carbon、EPP

国内企业珍宝、神工半导体

3.石英件

国产化率>10%

特点纯度、加工精度、原材料匹配性、表面颗粒质量、应力质量等

国外企业Wonik、Ferrotec、Heraeus

国内企业凯德石英、上海强华、菲利华、宁波云德、太平洋石英

4.陶瓷件

国产化率5-10%

特点难点在于ESC静电吸盘

国外企业Kyocera、CoorsTek

国内企业苏州珂玛、卡贝尼、河南东微电子

5.精密轴承

特点材料、加工精度、对游隙的控制

国外企业Fala、Kaydon

国内企业暂无

电气类

1.射频电源

国产化率1-5%

特点RF电源、电路板、电磁阀、控制器等种类多、产品复杂，涉及功能各不相同；正向研发需要结合使用功能

国外企业AE、MKS、Kyosan、Daihen

国内企业恒运昌、神州半导体、北方华创 (旗下北广科技)、英杰电气、中科院微电子

机电一体类

1.机械手臂

国产化率1-5%

特点难点在于通讯

国外企业Brooks、MKS、Yaskawa、Kawasaki、JEL、Rorze、Sankyo、RND、Kostek

国内企业沈阳新松机器人

2.EFEM传输系统

特点总成、占地面积、发热量

国外企业Brooks、Rorze

国内企业果纳半导体、锐杰机器人、华卓精科

3.温控设备

特点高稳定度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染

国外企业SMC、ATS

国内企业北京京仪自动化

气体类

1.气体流量计

国产化率<1%

特点满足量程时间、测量精度

国外企业Horiba、Brooks、MKS、Swagelok、Hamlet

国内企业北方华创、万业企业

2.气体喷淋头

国产化率>10%

特点气体分配的均匀性

国外企业AMSEA、UMS

国内企业江丰电子、靖江先锋

真空类

1.O-Ring密封圈

国产化率<1%

特点材料特殊，需要做成分分析及各种掺杂；耐化性:需要应对腐蚀性气体及化学品、臭氧等离子体等，耐高温、机械摩擦等；形状特殊，加工难度也较大

国外企业Dupont、Greene Tweed

国内企业深圳畅扬、沸点密封、苏州复芯

2.真空泵

国产化率5-10%

特点气体动力学涉及、材料、微米级精密加工、表面处理、精密装配

国外企业Alcatel、Edwards、荏原、Pfeiffer Vacuum(普发)、 Kashiyama(坚山工业)、Brooks、Sumitomo、Varian、Leybold

国内企业汉钟精机、通嘉宏瑞、中科科仪、上海协微、沈阳科仪、京仪

3.阀件

国产化率<1%

特点材料等级高，耐磨性、抗腐蚀性、不能有颗粒

国外企业Fujikin、VAT、MKS、 Swagelok、Hamlet

国内企业晶盛机电、中科艾尔、靖江佳佳

仪表仪器

1.压力计

国产化率<1%

特点满足量程时间、测量精度

国外企业MKS、Inficon

国内企业上海振太