华泰证券-半导体设备行业动态评中芯获增资，国产

华泰证券-半导体设备行业动态评中芯获增资，国产半导体设备添机遇-

5月15日中芯国际公告中芯南方（中芯控股、国家集成电路基金、上海集成电路基金共同投资建立，专注14nm及以下工艺和制造技术）投资总额将扩至90.59亿美元，注册资本由35亿美元增至65亿美元，其中国家集成电路基金II、上海集成电路基金II、中芯控股将分别增资15、7.5、7.5亿美元。我们认为，同时考虑中芯国际拟赴科创板上市、2020年资本开支上调11亿美元等积极因素，先进制程投资扩产有望加快，并释放更大设备需求，在半导体设备自主可控需求迫切的环境下，国产设备企业有望受益。

北方华创、中微公司、长川科技，关注华峰测控、晶盛机电、【芯源微(688037)、股吧】。

本土晶圆厂扩产进程高速推进，中国半导体设备需求成长韧性强劲据SEMI于2019年12月预测，2020、2021年中国大陆半导体设备销售额增速将分别达16%、10%，明显领先全球增速。我们认为，虽然海外疫情扩散或对全球半导体产业景气度带来一定不确定性，全球设备市场增速或低于SEMI此前预测，但值得关注的是，中国本土晶圆厂扩产并未因疫情而放缓（据中芯国际公告、长江存储官网，目前中芯南方14nm晶圆月产能已提升至6千片，将逐步实现3.5万片产能目标；长江存储扩产及研发稳步推进，2020年128层QLC 3DNAND闪存研发成功并在终端产品上通过验证），本土晶圆厂逆周期扩产下国内设备需求有望保持较快增长。

内资晶圆厂扩产提供设备进口替代机会，设备国产化水平正在稳步提升
　　目前中芯国际、长江存储、合肥长鑫等本土晶圆厂分别在逻辑电路、3DNAND、DRAM存储芯片领域布局先进制程产能且技术逐步成熟，为国产设备提供了验证试用平台和进口替代机会，设备国产化正取得阶段性突破。

以长江存储为例，据中国国际招标网公告，国产设备17年至今累计中标份额如下1）刻蚀设备中微公司16%、北方华创4%；2）CVD设备沈阳拓荆3%；3）PVD设备北方华创30%；4）工艺检测设备精测电子1%、上海睿励1%；5）热处理设备北方华创26%；6）清洗设备盛美半导体28%；7）测试机精测电子2%；8）CMP设备华海清科23%。

目前国内半导体设备产业体系逐步完善，优势企业初步具备进口替代能力，以下企业是具备较高技术水平的国产装备龙头。

上市公司包括

北方华创（产品品类覆盖广的本土装备龙头）、

中微公司（刻蚀机供应国内外一线晶圆厂）、

长川科技（探针台、数字测试机新品蓄力）、

【华峰测控(688200)、股吧】（测试机本土领先企业）、

晶盛机电（硅片制造设备）、

芯源微（涂胶显影设备、湿法设备），

非上市公司包括上海微电子（光刻设备）、沈阳拓荆（薄膜沉积设备）、中科仪（真空获得设备、薄膜沉积设备）、盛美半导体（清洗设备）、华海清科（CMP设备）、南京晶升能源（硅片制造设备）等。

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