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光伏行研报告:《超强整理:ALD子层沉积过程和反应机制的位研究》

  • 作者:Fairy0726
  • 2019-11-05 16:30:13
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光伏行研报告:《超强整理:ALD子层沉积过程和反应机制的位研究》

技术总结:

太阳能ALD子层沉积是通过将气相前躯体TMA和H20(或TMA和O3脉冲交替地通入反应腔室内并在沉积基体上化学吸附反应生成沉积膜AL2O3的一种设备,主要应用到光伏PERC、TOPCON等新型工艺上,用于提高太阳能电池片的转换效率。

本报告整理了ALD子层沉积过程及反应机理位研究方法综述,以及对这些过程和机制的一些见解,干货超多,建议转发、收藏学习。

粉丝福利

章篇幅有限,如需获取《超强整理:ALD子层沉积过程和反应机制的位研究》报告电子版,请在【光伏行研】微公众号后台回复:ALD

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