微导纳米-688147-深度报告专注ALD设备，光伏+半导体双线突破

  微导纳米国产ALD设备领军者。公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微纳米级薄膜沉积设备的研发与应用。公司业务涵盖光伏、半导体以及柔性电子领域。主要产品在光伏领域应用于新一代高效太阳能电池（TOPCon、XBC）的薄膜沉积，在半导体领域应用于先进逻辑芯片、新型存储芯片、化合物半导体、新型显示芯片等的薄膜沉积。经过多年技术积累，公司产品已达到国际先进水平。近年来，公司业绩快速增长，营收由2018年的0.42亿元增长至2021年的4.28亿元，CAGR高达117%。目前，公司已覆盖包括通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。半导体领域先后获得多家国内知名半导体公司的商业订单，并与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等工作。

  先进工艺演进，催生ALD需求增量。ALD可在复杂形貌上，完成可控制于原子层精度的高质量薄膜沉积，因此在光伏和半导体的先进工艺中均有光伏应用。1）半导体领域，ALD在45nm以下具有广阔应用场景，用于High-k介质，多重曝光，3D结构塑造等。据Gartner数据，2021年ALD在全球薄膜设备市场中占比达到13%，达到27亿美元。2）光伏领域，N型电池时代来临，目前产业化前景最为明确的TOPCon电池和HJT电池对于薄膜沉积设备需求旺盛。尤其在TOPCon电池产线中，薄膜设备约占总设备投资的33-40%，带来更大的需求增量。受益于N型电池的加速渗透，2022年公司订单大幅增长，截至2022年Q3在手订单接近20亿元，同比增长超过120%。

  半导体+光伏双轨发展，国产化替代突破实现。半导体领域，公司是国内首家成功将High-k原子层沉积设备应用于28nm集成电路制造前道量产线的国产设备公司，打破了国际厂商的垄断。公司作为国内半导体ALD技术领军者，设备关键性能参数达到国际水平，已在逻辑芯片、先进存储、化合物半导体等多个细分应用领域获得商业订单。光伏领域，公司首创将ALD技术应用于光伏规模化量产，研发出PECVD技术双平台，具备TOPCon整线工艺解决能力，拥有ALD、PEALD二合一、PECVD、扩散退火炉一系列完备的光伏薄膜设备产品阵列，尤其在ALD环节保持国内市场领先优势。

  投资建议微导纳米作为国内ALD设备龙头企业，在光伏领域持续拓展产品线，在半导体ALD领域亦实现突破。我们预计公司2022-2024年收入分别为6.03/11.99/16.72亿元，归母净利润分别为0.32/1.19/2.01亿元，对应现价PE分别为398/107/63倍。我们看好公司在ALD环节的国产替代潜力，首次覆盖，给予“推荐”评级。

  风险提示技术迭代风险；下游扩产不及预期的风险；新产品验证进度不及预期的风险。