晴空钟灵
摘要
章重分析了管式PECVD镀膜均匀性的影响因素。通过改变PECVD镀膜过程中的腔体压力、镀膜前的恒温时间及金字塔绒面均匀性、石墨舟清洗配方等因素进行实验研究。结果显示，适当降低PECVD镀膜压力，增加镀膜前恒温时间、提升镀膜前硅片绒面均匀性、降低石墨舟表面粗糙度可以提升PECVD镀膜均匀性。
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代同光，李拴，郭永刚，宋志成
西安太阳能电力有限公司
来源通电源技术
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答：中新互联互通投资基金管理有限公详情>>
答：2023-06-28详情>>
答：太阳能所属板块是 上游行业：公详情>>
答： 公司原名"重庆中药股份有限详情>>
今日CPO概念在涨幅排行榜位居第二 东田微、新易盛涨幅居前
当天高压快充概念在涨幅排行榜排名第4,涨幅领先个股为英可瑞、煜邦电力
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晴空钟灵
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章重分析了管式PECVD镀膜均匀性的影响因素。通过改变PECVD镀膜过程中的腔体压力、镀膜前的恒温时间及金字塔绒面均匀性、石墨舟清洗配方等因素进行实验研究。结果显示，适当降低PECVD镀膜压力，增加镀膜前恒温时间、提升镀膜前硅片绒面均匀性、降低石墨舟表面粗糙度可以提升PECVD镀膜均匀性。
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