上海微反光碗唯一供应商，百合光学发力纳米级光刻机光源突破

【大河财立方 见习记者 关帅康】历经两代人、31年接力，成立于1992年的百合光学经历了从中日合资到民企、从镀膜到光学元器件再到光源模组的成长历程。

自2016年进军光源模组研发后，短短几年便成为中芯国际、上海微电子、大族激光等知名企业供应商。同时，近期将获得某知名通公司投资。

7月5日，大河财立方记者走进百合光学，探寻这家河南唯一一家光刻光源企业快速成长背后的故事。

推动新乡光电产业“破土”

英国南威尔士大学光电工程博士毕业的张博，是带领百合光学进行高层次“光”突破的关键旗手。

2016年，张博回到新乡，在其父亲创立的百合光电体系内设立百合光学研究院，将百合光电主营光学元器件业务延伸至更高层次的光源模组，百合光学的光得以照进光刻机等高端应用领域。

百合光学的光学元器件业务是公司传统核心业务，主要为玻璃深加工，其是国内少数拥有全加工产业链的公司之一。将一块块玻璃进行打磨、抛光、镀膜、检测等一系列加工，使之达到不同领域对镜片折射率、色散、透射比、光吸收等要求。

百合光学生产出一块块工艺先进的棱镜、透镜、分光镜、滤光片等，广泛应用于紫外光刻机、光学仪器、光学通、医疗设备等多种高精领域，目前公司镜片生产技术已达到纳米级光刻机使用要求。

2016年设立的光源模组业务专注于光刻光源领域，研发的LED光刻光源技术国际领先，主要刻蚀PCB电路板等，并以开发出成熟的亚微米级光刻机光刻光源为目标，探寻高层次光源发展。

百合光学作为河南唯一一家光刻光源企业，是本土光电产业发展之源。新乡市把光电产业立为该市主导产业，并把发展的种子埋在了新卓路9号新东光电息产业园。

经过数年培育，产业园围绕百合光学聚集多家光电上下游企业入驻，新乡光电产业链逐渐成形，正迎来“萌芽破土”。

LED平行光源媲美国外进口产品

纳米级光刻机一直是国内高端科技领域重点突破方向。

百合光学自2016年成立研究院起，就把光刻机重要部件光刻光源作为研发目标。应用精度从微米级光刻机到半导体光刻机，百合光学技术越来越成熟，在高端科技研发的路上越走越深。

“在LED平行光源领域，我们达到国内领先水平。”百合光学副总经理孙昊向大河财立方记者介绍道。

2020年，百合光学独创了UV-LED光刻光源技术，对微米级光刻机汞灯光源技术实现革新，将能耗降低90%，使用寿命从800小时提升至2万小时，大幅降低国产微米级光刻机设备价格，填补了国内空白。大族激光、苏州源卓等公司光刻机产品都采用了百合光学的UV-LED光刻光源技术。

在专业技术要求更高的纳米级光刻机领域，百合光学已向中芯国际供应20多种光学元器件，其中10余种已通过中芯国际验证，成为中芯国际光学元器件战略供应商。

上海微电子是国内光刻机研发的希望，其光刻机反光碗由百合光学独家供应。“在国内，反光碗能达到上海微电子要求的只有百合光学一家，我们是唯一供应商。”孙昊称。

据了解，百合光学生产的反光碗具有光强好，精度高，光谱达标，均匀性达标等技术优势，光学性能媲美国外进口产品。

知名通公司洽谈投资，筹备科创板上市

高端科技领域研发投入大、见效慢、风险高，百合光学自成立光学研究院后，一直将光学元器件业务利润补贴光源模组领域研发投入。

对于研发型企业来说，大额研发投资下，如何保证业绩和生存对企业经营能力是重要考验。

百合光学以研发与经营齐头并进为发展战略，重视研发的同时，目前赖以生存的光学元器件业务也要打开多领域市场。

孙昊称“未来公司大力发展光伏光刻，光伏电池板中将使用铜代替银浆材质增加储存电量，必须使用光刻机刻线，预计明后两年将会快速起量。车辆抬显也是公司重点业务，目前产品已供应比亚迪护卫舰系列和理想全系车型，成为比亚迪定点生产单位，另有20家多车企合作导入。”

这些领域的发力，对百合光学业绩有重要贡献，研发投入资金也会更加充裕。

据了解，百合光学高薪聘请行业专家，并组建了数十人的研发团队，持续加大纳米级光刻机光刻光源技术攻关。目前重点研发高难度的无掩膜板DI光刻光源技术，利用芯片直接成像、电脑快速刻画，具有照射强、效能高、效率快的特点。

对于研发型企业来说，融资是头等问题，百合光学重视研发的态度和优异成绩让其成为“香饽饽”。

“已有20多家基金表示过投资意向，另外，某知名通公司近期在落地投资计划，我们也在积极筹备公司科创板上市工作”孙昊介绍道。

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