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  • 作者:santer
  • 2023-03-09 23:02:08
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不只是中芯国际,国内晶圆厂长江存储、华虹半导体等之前购买的都是这款浸没式DUV光刻机,并且ASML还将这款光刻机进行了升级,性能比之前型号更好。

从目前ASML发表的声明情况来看,我们的成熟制程所用的光刻机及售后服务不会受到影响。不过,限制了我们向先进制程发展,看来还得寄希望于国产光刻机突破!

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