上海微电子光刻机产业链

上海微电子产业链，A股公司梳理

1）参股上海微电子

张江高科通过全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子14.21%股权。另外，公司旗下微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。在先进封装光刻机等领域，其国内市场占有率超过80%，全球市场占有率为40%。

东方明珠通过上海泰力产业投资管理有限公司间接持有约2%股权。

上海电气公司控股股东上海电气控股集团为上海微电子实控人，持有上海微电子32.09%股权。

2）上海微电子供应商

福晶科技在光刻机零部件中，KBBF晶体主要用来制造深紫外激光器，而光刻机就是深紫外激光器的高端应用市场。公司生产的KBBF晶体是光刻机的重要的上游原材料！KBBF晶体是国防和民用市场上都无法或缺的重要技术。

苏大维格公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品，该器件是该公司光刻机产品的重要部件。

奥普光电中科院长光学所持股公司42.4%的股权，非常有希望在国产高端光刻机上实现突破。其研制的国内第一套EUV光刻原理装置，实现了EUV光刻的原理性贯通。2008年国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项将EUV光刻技术列为“32-22nm装备技术前瞻性研究”重要攻关任务。长春光机所作为牵头单位，承担起了“极紫外光刻关键技术研究”项目研究工作。

炬光科技间接供货光刻机巨头ASML。光刻领域，公司为客户提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器，是荷兰ASML光学设备核心供应商的重要供应商。晶圆退火领域，公司推出的半导体集成电路退火系统，已经进入上海微电子、华卓精科、韩国DIT等客户供应体系。公司甚至参与了国家的“神光”计划即“人造太阳”项目。华为哈勃在2020年9月以每股25元的价格入股炬光科技，持有公司2.96%股份。

麦克迪奥国望光学和科益虹源（国内第一，世界第三，供货上海微电子）都是亦庄旗下公司。截止目前亦庄唯一控股的上市公司是麦克奥迪（稀缺唯一性）。麦克奥迪主业光学镜头实锤供货光刻机。市场预期亦庄同一控制下企业进行重组国望光学和科益虹源+麦克奥迪光刻机光学镜头供应商。

茂莱光学（688502）我国的茂莱光学的DUV光学透镜已经在给上海微电子供货。

富创精密富创精密国产半导体设备零部件龙头，全球为数不多的能够为7纳米工艺制程半导体设备批量提供精密零部件的厂商，公司已进入全球光刻机龙头ASML供应链体系，已切入上海微电子等国产半导体设备厂。

金力泰全资子公司上海金杜是上海微电子的合格供应商，向其提供应用于其产品零部件的表面处理服务；

蓝英装备公司控股子公司UCMAG为荷兰光刻机制造商ASML提供精密清洗解决方案。

海立股份2021年10月26日，海立集团与上海微电子装备集团举行战略合作协议签约仪式。值得注意的是海立集团与上海微电子同属上海电气集团。

3）自购或自用的光刻机

赛微电子300456公司与ASML合作，在瑞典和北京分别拥有数台光刻机，此外公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。

英唐智控公司2020年10月完成对先锋微技术的收购，更名为英唐微技术（股权比例为55%）。先锋微技术自有的生产设备中包含有日本产的光刻机设备，互动平台称5台光刻机目前还在控股子公司日本英唐微技术的生产线中，最小能支持0.35um工艺。

晶瑞电材前年公司已购得KrF光刻机一台（二手），可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。