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一、【光刻机产业链梳理】1、光刻胶南大光电，容大

作者：U9394974
2022-09-24 18:56:57
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一、【光刻机产业链梳理】
1、光刻胶南大光电，容大感光；

2、光刻气体华特气体，雅克科技；

3、光掩膜版华润微，菲利华；

4、缺陷检测精测电子，东方晶源；

5、涂胶显影芯源微；

6、IC前道制造中芯国际，华润微，华虹宏力；

7、后道封装长电科技，晶方科技

二、设备
设备-光刻机【奥普光电】
设备-平台公司【北方华创】
设备-清洗机【盛美上海】、【至纯科技】
设备-离子注入【万业企业】
设备-量测【华峰测控】、【长川科技】
设备零部件【和林微纳】【新莱应材】

4. 材料
光刻胶【南大光电】【晶瑞电材】【雅克科技】【上海新阳】
前驱体【雅克科技】
高端靶材【江丰电子】
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