半导体设备之量检测设备简单分析

量检测设备占比半导 体设备整体比例约为 13%。2022 全球市场规模超 800 亿人民币，中国国内市 场规模 2021 年约为 176 亿人民币。相比于 KLA 等国际先行者，国内企业起 步较晚，2022 量检测设备整体国产化率不及 4%，具备很大的成长空间.相比其他半导体设备，量检测设备采用大量复杂光学 原理，技术门槛更高，单机价值量与技术附加值更大。

 晶圆厂质量控制使用的量检测设备，是集成电路产线的核心设备之一，也是保证 芯片生产良品率的关键。集成电路质量控制包括前道检测、中道检测和后道测试。 相比于后道封装测试设备，前道检测与中道检测所使用的量检测设备，国产化率 更低。中科飞测是国内少数实现规模化生产的量检测设备生产商

 量检测设备市场是除光刻、薄膜沉积、刻蚀大类外，最大的半导体设备细分类市 场之一

量测设备份额                   占比          中科飞测是否涵盖

纳米图形晶圆缺陷检测           24.7%              积极研发

 掩膜版缺陷检测                11.3%

关键尺寸量测                   10%.2

无图形晶圆缺陷检测              9.7%              是

套刻精度量测                    7.3%              是

图形晶圆缺陷检测                6.3%              是

电子束缺陷检测                  5.7%

电子束缺陷复查                  4.9%

晶圆介质薄膜量测                 3%               是

X光量测                         2.2%

掩膜版关键尺寸量测              1.3%

三维形貌量测                    0.9%              是

晶圆金属薄膜量测                0.5%              积极研发    

 其他                           3.9%

公司产品对应的市场份额占比为 27.2%，积极研发的对应为25.2%

 量检测设备市场呈现出高度垄断的格局，行业前 5 名分别为科磊（KLA）、应用材 料（AMAT）、日立(Hitachi)、泰雷光电（Lasertec）创新科技(Onto,原 Nanometrics 和 Rudolph)。市场占比分别为 50.8%，11.5%，8.9%，5.6%，5.6%

 量检测设备具有极高的技术壁垒；特别是中科飞测所布局的光学领域，明场纳米 有图形光学检测设备难度比肩于光刻机

 2022年中国大陆光学类半导体量检测设备的进口额为33.14亿美元（220.56亿元）。 同期，中国大陆电子显微镜与衍射仪进口额 12.26 亿美元（80.21 亿元，有部分电 子显微镜与衍射仪用于集成电路生产），进口替代空间十分广阔。

 2022年年中国量测设备市场格局  占比

其他                           96%

中科飞测                       1.6%          5.09亿

赛腾股份                       0.9%          2.91亿

精测电子                       0.6%          1.83亿

田准科技                       0.3%          0.89

睿励科学仪器                   0.2%          0.72亿