半导体材料——电子特气

原创 擒妖急先锋 擒妖急先锋 2023-03-23 17:50 发表于福建

半导体材料2个

电子特气占半导体材料13.2%。电子特气的使用穿透半导体制造的整个过程，根据电子特种气体所参与的工艺环节不同，可将电子特种气体分成六大类，分别为化学气相沉积、离子注入、光刻胶印刷、扩散、刻蚀和掺杂。其中三氟化氮（NF3）是目前应用最广泛的电子特气，占全球电子气体产量的50%，是一种强氧化剂，常应用于半导体的刻蚀环节中。

电子特气的壁垒较高，为了保证半导体器件的质量与成品率，特种气体需同时满足“超纯”和“超净”的要求，“超纯”即纯度需高达6N（99.9999%）甚至7N（99.99999%），“超净”即要求严格控制粒子与金属杂质的含量。

在政策利好与需求升级的双轮驱动下，中国电子特气市场呈现高速增长的状态。2017—2021年，中国电子特气市场规模从114亿元增至216亿元，年复合增长率达17.32%。

中国特种气体市场被发达国家的龙头企业垄断。2020年，美国空气华工、美国普莱克斯、法国液化空气、日本太阳日酸及德国林德共占据中国市场85%的市场份额。中国国产企业实力逐渐增强，但国产企业的特种气体产品较为单一，特种气体纯度较低，在国际市场上竞争力不足。

国产企业第一梯队包括华特气体、金宏气体、南大光电和雅克科技，2020年市场份额占比分别为1.91%、1.56%、1.5%和1.3%。第一梯队的企业特气业务收入已具备规模性，在细分领域产品优势明显，但和国外龙头企业相比还有差距。

其中，华特气体和金宏气体主要从事工业气体的研发、生产及销售，生产气体种类较多。华特气体率先实现高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、稀混光刻气等多个产品的进口替代，其客户包括中芯国际、华润微电子、华虹宏力、台积电等主流半导体企业，在国内电子特气行业中具有领先优势。2020年华特气体特种气体业务收入达5.48亿元，占主营业务收入的55%。其中，应用于纯半导体的特种气体收入约3.3亿元，在特种气体中占比超过60%，在总收入中占比也达到33%左右。金宏气体具有多项核心技术专利，贯穿气体生产、提纯、检测、配送、使用全过程，开发出7N电子级超纯氨，打破了海外企业垄断超纯氨的局面。金宏气体主营业务包括大宗气体、特种气体和天然气三大板块，2020年特种气体业务收入达4.48亿元，占总收入的42%，毛利率达到38.18%。

南大光电和雅克科技属于半导体材料综合型公司，主营包括光刻胶、电子特气等多种半

导体材料产品的生产、研发和销售。南大光电主营氢类和含氟类气体产品，成功实现了国产磷烷、砷烷的产业化和进口替代，其三氟化氮、六氟化硫产品已向全球厂家批量供货，具有较高的市场认可度。南大光电在近四年间电子特气收入占比持续上升，从2017的20.16%上升至2020年的72.18%，营业收入达4.29亿元，但近三年其销售毛利率呈下降趋势，与其营业成本大幅上升有关。雅克科技电子特气板块聚焦于含氟类特种气体，主要产品为六氟化硫和四氟化碳。2020年电子特气营收达3.73亿元，占比为16.4%，毛利率达43.66%。