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八亿时空 光刻胶方面公司研发的产品主要是KrF光刻胶树脂及其衍生物等

  • 作者:大松树
  • 2023-09-08 17:35:01
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八亿时空(688181)09月08日在投资者关系平台上答复了投资者关心的问题。

投资者请问公司在半导体光刻胶方面进展到什么程度了?有新闻报道公司订购了进口光刻机设备,是否属实?

八亿时空董秘尊敬的投资者,您好!光刻胶方面公司研发的产品主要是KrF光刻胶树脂及其衍生物等。公司聚焦KrF光刻胶关键原料PHS树脂及其衍生物的研发和量产,并取得重大突破。目前公司研发团队已成功实现KrF光刻胶用PHS树脂及其衍生物百公斤级别的中试量产,并取得了国内部分光刻胶生产企业窄分布树脂订单,材料性能指标达到国际先进水平,能满足国内光刻胶客户的需求,部分解决了国内光刻胶核心材料的卡脖子问题,打破了国际垄断。公司于2022年购买了进口i线和KrF248nm光刻机及配套设备。感谢关注!

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