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每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问公司您好!请问公司向A公司的光刻系统提供光场匀化器,该光刻系统的光的波长是多少(例如365nm以上、248nm、193nm、EUV的13.5nm)?谢谢!
炬光科技(688167.SH)5月5日在投资者互动平台表示,公司的光场匀化器产品供应给世界顶级光学企业A公司,最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。公司是根据不同客户需求,匹配不同波长的光场匀化器,覆盖了DUV全部波长。公司光场匀化器产品目前没有用于EUV光刻机。EUV光刻机和DUV光刻机光学工作原理不同。
(记者 尹华禄)
免责声明本文内容与数据仅供参考,不构成投资建议,使用前核实。据此操作,风险自担。
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炬光科技公司的光场匀化器产品供应给世界顶级光学企业A公司,最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备
每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问公司您好!请问公司向A公司的光刻系统提供光场匀化器,该光刻系统的光的波长是多少(例如365nm以上、248nm、193nm、EUV的13.5nm)?谢谢!
炬光科技(688167.SH)5月5日在投资者互动平台表示,公司的光场匀化器产品供应给世界顶级光学企业A公司,最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。公司是根据不同客户需求,匹配不同波长的光场匀化器,覆盖了DUV全部波长。公司光场匀化器产品目前没有用于EUV光刻机。EUV光刻机和DUV光刻机光学工作原理不同。
(记者 尹华禄)
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