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真是守口如瓶！根据微导纳米实控人王燕清一句「202

作者：不会打板啊
2024-07-13 08:26:27
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真是守口如瓶！根据微导纳米实控人王燕清一句「2023年成功推出高温无定形碳工艺专用PECVD设备并取得重复订单，满足客户在多个技术节点和工艺环节对薄膜沉积设备的需求，填补了国内半导体集成电路关键技术空白。」中的关键词「无定形碳工艺」，才想起老妹儿应用材料的一款很牛、很牛的PEVCD设备，确实与北方某华创、拓荆某科技没关系，因为太先进、太高级。
以下是微导纳米2022年对CVD设备的描述，不如实控人一句话），还得大人物去调研才能说点关键息）——iTronix 系列 CVD 系统是公司根据下游客户需求，独立开发或合作开发的多款 CVD 产品系列，应用于 CVD 技术不同镀膜领域，适用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、非晶碳、非晶硅、掺杂非晶硅、锗硅等不同种类薄膜，可应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域芯片制造。
iTronix 系列 CVD 系统，系公司基于客户关键工艺开发的战略需求，正在开发的新产品系列，适用于沉积氧化物、氮化物等薄膜材料。产品可用于芯片制造钝化层、扩散阻挡层、介电层、硬掩膜层与高级图案化层、电容覆盖层等应用领域。该系列产品将以硬掩模工艺为切入点，依托产业化应用中心强大的前瞻工艺开发能力及国际化的研发团队，以及公司所具有的半导体设备设计制造能力，解决关键工艺卡脖子问题，通过差异化策略开发 CVD 领域具有市场前景和竞争力的关键设备。