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  • 作者：大头儿子
  • 2024-04-30 14:50:46
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微导纳米，国产原子层沉积国内唯一且第一☝🏻，➕特色硬掩膜CVD，2023年报显示平台技术拓展研发PVD，这是微导纳米在半导体薄膜沉积领域拉整线的节奏。半导体设备和材料领域尤其是先进制程，不是你投入多少，而是谁在干？这个谁是不是一人就是千军万马！比如中芯国际的梁先生。看看微导纳米在半导体领域内，公司目前已经开发工艺包括HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV技术等，覆盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等薄膜材料。
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