微导纳米专用设备在手订单超45亿元

集微网消息，5月19日，江苏微导纳米科技股份有限公司（证券代码688147，证券简称微导纳米）召开2022年年度股东大会，就《关于公司2022年度董事会工作报告的议案》《关于公司2022年度监事会工作报告的议案》《关于公司2022年年度报告及其摘要的议案》等进行审议和投票。爱集微作为其机构股东参与了此次股东大会。

微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。

2022年业绩高增，在手订单充裕

2022年，微导纳米订单增长迅速，产品销量增加明显，全年实现营业收入为6.85亿元，同比增长59.96%；归属于上市公司股东的净利润为5415.05万元，同比增长17.43%。微导纳米在2022年年报中表示，报告期内，持续研发推出符合市场需求的高性能产品，主要产品在光伏PERC及TOPCon等新型高效电池技术领域、半导体领域的销量大幅增长。

按照下游行业分类，光伏设备实现营业收入5.01亿元，较上一年度同比增加81.98%；半导体设备实现营业收入4697.63万元，同比增长86.41%；柔性电子设备实现了销售突破。

4月24日，微导纳米发布2023年第一季度报告，实现营业收入7577万元，同比下降42.65%；归属于上市公司股东的净利润亏损108.9万元，同比下降141.75%。微导纳米在该报告中表示，主要系客户现场的项目实施节奏、验收节奏存在差异，报告期内验收项目的规模较小；营业收入减少，以及因订单增加，实施需要人员增加致使期间费用增长。

目前微导纳米在手订单充裕，为后续经营业绩持续增长提供了保障。截止2022年12月底，在手专用设备订单22.93亿元，其中光伏设备订单19.67亿元，半导体设备订单2.57亿元，其他设备订单6881万元；2023年1月初至4月24日，新增专用设备订单22.74亿元，其中新增半导体设备订单2.42亿元，新增光伏设备订单20.16亿元，新增其他设备订单1580万元。

半导体、光伏设备研发进展顺利

2022年，微导纳米坚持自主创新，持续加大研发投入，巩固现有技术优势，在半导体、光伏设备领域均有不同突破。

半导体方面，微导纳米加速了各细分领域的产品研发、产业验证和应用，实现多项ALD、CVD 技术产业化的突破。在逻辑芯片领域，ALD制备的高K材料HfO2较好地满足28nm逻辑器件制造过程的需要，相关设备已取得客户验收，实现产业化应用，并已获得重复订单；ALD设备在高K栅电容介质层、介质覆盖层等工艺中的优势使其被广泛应用于DRAM、3D-NAND、新型存储器等领域，相关设备已进入产业化验证阶段；在新型显示芯片领域，批量型ALD设备产品已获得多个客户订单，处于产业化验证阶段；在化合物半导体领域，ALD技术适合于生长超薄Al2O3、AlN等薄膜作为钝化层和过渡层，保证器件具有良好的漏电和击穿性能。2022年，微导纳米半导体设备销售6台，同比增长500%。

光伏方面，微导纳米持续丰富产品线，提供ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种产品，推进实施AEP（ALD EnabledPhotovoltaics）技术为核心的TOPCon电池工艺整线策略。由其开发的行业内首条GW级TOPCon工艺整线项目已经取得客户的验收，实现产业化应用；同时正积极储备下一代高效电池相关产品和技术。2022年，微导纳米光伏设备销售102台，同比增长75.86%。（校对/项睿）