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华海清科获得发明专利授权“一种用于化学机械抛光的承载头和抛光设备”

作者：钱路向北
2024-02-10 02:58:31
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证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于化学机械抛光的承载头和抛光设备”，专利申请号为CN202111325238.8，授权日为2024年2月9日。

专利摘要本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头和抛光设备，包括主体部及保持环，所述主体部的底部配置有基座，所述保持环通过连接结构固定于所述基座；所述连接结构包括固定螺钉、限位环和连接螺钉；保持环设置于承载头的基座的底部，其通过固定螺钉连接于基座；所述限位环为环状结构，其通过连接螺钉固定于所述基座的顶部；所述限位环罩设于所述基座的上侧，其底面抵压于所述保持环的顶面；所述限位环对保持环的抵压力产生相对于所述连接螺钉的偏转力矩，使得保持环的底面形成沿径向的高度差。

今年以来华海清科新获得专利授权9个，与去年同期持平。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.39亿元，同比增63.98%。

数据来源企查查

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