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半导体-芯片概念1)半导体设备类光刻机代表公司

  • 作者:宁静致远
  • 2022-11-01 09:13:09
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半导体-芯片概念

1)半导体设备类
光刻机代表公司上海微电子;
ALD北方华创、拓荆科技;
离子注入万业企业、中科;
量测睿励科学、精测电子、中科飞测
CVD拓荆科技、北方华创、盛美上海
涂胶显影芯源微、盛美上海;
CMP华海清科;
PVD北方华创;
刻蚀设备中微公司、北方华创;
清洗盛美股份、至纯科技、北方华创、芯源微;
热处理设备北京屹唐、北方华创、盛美上海;
2)半导体设备零部件
阀门(Valve)新莱应材;
质量流量控制器(MFC)北方华创;
射频发生器(RFgenerator)英杰电气、北广科技
陶瓷件(Ceramic)苏州柯玛;
泵(Pump)沈阳科仪、北京京仪;
边缘环(Showerhead)神工股份
反应腔喷淋头(Edgering)靖江先锋、江丰电子
石英件(Quartz)菲利华

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