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  • 作者：时间慢慢的007
  • 2022-07-14 10:03:17
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盛美上海7月14日消息，公司今日推出新型化学机械研磨后(Post-CMP)清洗设备。这是公司的第一款Post-CMP清洗设备，用于制造高质量衬底化学机械研磨(CMP)工艺之后的清洗。该清洗设备6英寸和8英寸的配置适用于碳化硅(SiC)衬底制造；8英寸和12英寸配置适...

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