半导体设备行业2022年中报总结及三季报业绩展望本土厂商收入保持高增长，扣非净利率持续攀升

　三季报业绩预告保持高增长，盈利能力增强。参考北方华创、新莱应材、华特气体的业绩预告，半导体设备及零部件板块的利润保持高速增长，其中北方华创前三季度收入预计同比增长53%-69%，而净利润预计同比增长136%-173%，预计北方华创的净利率继续改善。

  国内半导体设备上市公司业绩加速增长，扣非净利率持续提升。1H22半导体设备行业总收入同比增长64%。从收入增速来看，拓荆科技的收入增长最快，达到365%，其次是华海清科，同比增长144%。盛美、长川增速均在70%以上。今年上半年，半导体设备行业的扣非净利率平均值17.7%，呈现逐年上升趋势，对应毛利率也逐年上升，上半年国内半导体设备行业平均毛利率为48.7%。

  国内半导体设备上市公司订单普遍高增长，合同负债、存货均大幅增长。2022年二季度末，设备公司前道设备的合同负债普遍延续增长趋势，较年初增幅较大的是拓荆科技、芯源微、华海清科、中微、北方华创、盛美，但封装测试设备均有一定下滑。二季度末，各家上市公司存货较年初均有较大幅度增长，增幅较大的依次是拓荆科技、长川科技、中微公司、盛美上海、北方华创。

  横向、纵向两大维度加大新产品研发，做大做强半导体设备企业。一是继续提升已有核心产品的竞争力，例如，拓荆科技推出六站式PECVD和六站式PE-ALD、多边形高产能平台，芯源微推出高产能架构平台，盛美拟推出超临界清洗设备。二是进行新产品线扩张，对比美国应用材料产品横跨CVD、PVD、刻蚀、CMP、离子注入、量测、RTP等除光刻机外的几乎大部分半导体设备，中微、盛美分别在epi、LPCVD、ALD、ALE和电镀、炉管等关键设备上的布局。

  半导体零部件布局成形，业绩显著放量。市场上有两类半导体零部件企业，一类是主营业务全部来自半导体零部件业务，例如富创精密、珂玛科技、沈阳中科仪，一类是半导体零部件是企业的新业务板块，例如江丰电子、神工股份、新莱应材等，此类零部件企业中的零部件收入占比持续提升。经历多年技术储备和验证后，2022年起半导体零部件业务呈现快速增长趋势。

  光伏设备公司加快布局半导体设备业务。各家光伏设备公司根据技术路线确定自身优势领域，例如晶盛机电在原有光伏硅片设备优势基础上，全面布局集成电路硅片长晶炉、切磨抛加工设备，奥特维从光伏串焊机出发，布局半导体金铜线键合机、铝线键合机等。高测股份布局半导体切片机、半导体研磨机、碳化硅切片机、碳化硅专用金刚线等。

  国际半导体设备龙头业绩增速放缓，封测设备收入进入同比下降趋势。今年上半年，前道的制程设备中，Lam Research销售收入增速快于应用材料和TEL，KLA收入增速位于前五大半导体设备龙头首位；单片ALD设备龙头ASM保持30%以上的收入增长，成长性高；离子注入机Axcelis也保持了较高增速。测试设备方面，日本测试机龙头Advantest保持了高速增长，与美国测试机龙头Teradyne负增长形成鲜明对比。封装设备中，Besi、K&S、ASMPacific的第三季度收入陷入大幅负增长，体现全球封装行业显著收缩了资本开支计划。

  投资建议建议关注向半导体先进封装/检测领域进军的快克股份、德龙激光、和天准科技；半导体设备龙头订单增长将带动相关零部件及材料的高需求，关注半导体材料及零部件厂商新莱应材、英杰电气、正帆科技；半导体厂商对废弃处理的需求也相应上升，关注泛半导体工艺废气治理龙头盛剑环境。

  风险分析外部环境不确定性风险，技术迭代风险，美国进一步限制关键设备和零部件出口的风险。