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龙腾光电获得发明专利授权“曝光系统及曝光方法”

作者：风生水起ryd
2024-06-12 02:22:06
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证券之星消息，根据企查查数据显示龙腾光电（688055）新获得一项发明专利授权，专利名为“曝光系统及曝光方法”，专利申请号为CN202111041952.4，授权日为2024年6月11日。

专利摘要一种曝光系统，包括光源组件、半透镜、全反射镜、弧形镜组、掩膜板和透镜组，光源组件发出的光依次经过半透镜、弧形镜组、掩膜板、透镜组后进行第一次曝光，全反射镜与半透镜相对设置，半透镜可将光反射至全反射镜，全反射镜反射的光实现第二次曝光。本发明的曝光系统能提高图像线宽关键尺寸的均一性，提升了产品良率。本发明还涉及一种曝光方法。

今年以来龙腾光电新获得专利授权102个，较去年同期增加了2%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.2亿元，同比增14.47%。

数据来源企查查

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