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芯源微彩云路厂区竣工投产，恰逢第1500台设备出厂

作者：律师爱炒股
2022-07-26 09:40:30
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集微网消息，7月25日，芯源微高端晶圆处理设备产业化项目（彩云路厂区）竣工投产。截止竣工投产之时，恰逢芯源微第1500台设备出厂。

来源芯源微

据悉，芯源微彩云路厂区总用地面积45576平方米，项目主要用于生产高端晶圆处理设备，包括前道涂胶/显影机及前道单片式清洗机等。项目将打造东北地区顶级的半导体专用设备研发与生产基地，全部达产后将带动就业2000人。从自动化所到飞云路再到彩云路，发展20年，彩云路厂区是芯源微做强做大，迈向国际化的全新起跑线。

长电绍兴总经理梁新夫博士致辞表示，长电科技批量采购了芯源微涂胶、显影、刻蚀、清洗等关键工艺的设备，芯源微凭借快速完善的售后服务和关键设备良好的稳定性，为双方良好的合作打下了坚实的基础。

据官网介绍，沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，由中科院沈阳自动化研究所发起创建，从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务。芯源微开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域，可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。（校对/王旭）

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