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问：芯源微有哪些子公司？
答：芯源微的子公司有:3个,分别是:上详情>>
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问：芯源微属于什么板块?
答：芯源微所属板块是 上游行业：机详情>>
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问：芯源微2024年业绩预告？
答：芯源微公司 2024-03-31 财务报告详情>>
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芯源微公司简介 芯源微公司是做什么业务的
沈阳【芯源微(688037)、股吧】电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。
芯源公司座落在沈阳市浑南区，公司占地2万平米，设置了专业的集成电路工艺开发和检测实验室以及半导体设备生产组装车间。芯源公司通过多年技术积累、创新提高，形成自主知识产权体系，截至2019年6月，公司已申请300余项专利；已拥有授权专利159项，其中发明专利134项。沈阳芯源公司作为国内领先的高端半导体装备制造企业，所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。
沈阳芯源连续承担国家02科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目，依托国家重大专项的支持，芯源将加速提升企业的创新能力和产品成套能力，以先进可靠的产品和优质服务赢得客户信赖，为客户提供先进的半导体设备，成为全球半导体设备领先企业，助推产业技术进步。
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