安集科技多款硅溶胶已在抛光液产品中测试验证

集微网消息（文/姜翠）5月31日，安集科技在发布的投资者活动记录中表示，山东安特纳米是公司与战略合作伙伴合资成立的子公司，致力于建立关键原材料硅溶胶的自主可控生产供应能力。截至目前，其开发的多款硅溶胶已在公司多款抛光液产品中测试验证，进展顺利。

针对“HKMG铝制程的抛光液难度如何”的问题，安集科技解释称，HKMG工艺抛光液主要指的是在28nm技术节点，其工艺是非常复杂的，技术、性能要求也很敏感，不同客户之间也各有不同技术和工艺。公司HKMG工艺的铝抛光液与国内客户紧密合作，根据客户具体的工艺要求来提供产品和技术服务，全方位地满足客户的需求。目前已通过客户验证，打破了国外厂商在该应用的垄断并实现量产，进一步完善了公司的抛光液品类。

关于功能性湿电子化学的产品布局，安集科技表示，公司在功能性湿电子化学品领域的产品的定位是高附加价值的复配类产品，主要包括刻蚀后清洗液、光刻胶剥离液、化学机械抛光（CMP）后清洗及刻蚀液，主要应用于集成电路芯片制造和先进封装领域。公司定位于技术和市场领导者，公司会针对客户需求及中国市场的供应能力，致力于攻克领先技术节点难关并提供相应的产品和解决方案。

关于海外客户，安集科技指出，出于资源投入和物理便利性因素的考量，公司会积极开拓外资背景在中国大陆生产的Fab厂，目前已经在积极布局中。

关于疫情带来的影响，安集科技声称，面对疫情，公司提前做了非常充足的预案和准备，到目前为止，公司的生产经营基本上没有受到实质性的影响。公司在3月27日迅速响应上海市的防疫措施，紧急召回相关工作人员，在上海的生产基地实施闭环管理。公司秉承“保生产、保供应物流、保员工安全”的“三保”原则，在公司的努力下，克服重重挑战，得以实现公司的稳定生产运营。

（校对/Andy）