注册返回主站

中微公司获得发明专利授权“零部件、等离子体反应装置及零部件加工方法”

作者：忘江
2024-04-13 03:25:19
分享：

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“零部件、等离子体反应装置及零部件加工方法”，专利申请号为CN202010361663.1，授权日为2024年4月12日。

专利摘要本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种零部件、等离子体反应装置及零部件加工方法。其中，等离子体反应装置包括反应腔，反应腔内为等离子体环境，零部件暴露于所述等离子体环境中；零部件包括衬底和涂覆在衬底表面的耐等离子体涂层，衬底表面设置有若干宽度W1≤30nm、深度H1≤100nm的凹槽，相邻凹槽间形成凸起；耐等离子体涂层覆盖于凹槽的侧壁表面、底部表面和凸起的顶部表面。本发明提供的零部件，通过在衬底的表面涂覆耐等离子体涂层对衬底进行耐等离子体保护，且耐等离子体涂层不易出现开裂、裂纹扩展以及剥落的问题。

今年以来中微公司新获得专利授权54个，较去年同期增加了1.89%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源企查查

以上内容由证券之星根据公开息整理，由算法生成（网算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。

温馨提醒：用户在赢家聊吧发表的所有资料、言论等仅代表个人观点，与本网站立场无关，不对您构成任何投资建议。本文中出现任何联系方式与本站无关，谨防个人信息，财产资金安全。